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나노 구조 코팅용 합금분말 제조방법과 제품 및 그 합금분말을 이용한 타겟 제조방법과 제품 및 그 타겟을 이용한 나노 구조 코팅막

  • 기술번호 : KST2015149088
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Mo 분말과 Cu 분말이 합금화되어 제조된 단일 타겟을 이용하여 시편에 코팅막을 성막하므로, 두 개의 타겟으로 제조된 시편에서보다 더 우수한 물성 확보가 가능하도록 한 기술이다.이를 위해, Mo 분말 50~95at%와, Cu 분말 5~50at%가 되도록 원료분말을 준비하는 단계와; 상기 Mo과 Cu의 분말과 볼을 용기 내에 장입한 후 회전시켜, Mo과 Cu의 분말을 파괴 및 분포시키는 동시에 분말 내부의 조직을 나노 크기로 미세 입자화하는 기계적 합금화단계와; 기계적 합금화를 통해 성형된 합금분말에 소결 압력을 가하는 동시에 높은 전류 밀도의 DC펄스 전류를 가하여 합금분말을 소결시키는 스파크 플라즈마 소결단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, 상호간에 혼합되지 않은 특성을 가진 Mo-5~50at%Cu의 2원계 합금분말 및 단일 타겟을 제조하고, 이 단일 타겟을 이용하여 코팅막을 성막함으로써, 두 개의 타겟으로 제조된 시편에서보다 더 미세한 결정구조와 조도 등 우수한 구조를 보여 경도 및 마모 특성 등 우수한 물성 확보가 가능한 효가가 있다.
Int. CL B22F 9/04 (2006.01) B22F 3/105 (2006.01) C22C 1/04 (2006.01)
CPC B22F 2009/041(2013.01)
출원번호/일자 1020100092005 (2010.09.17)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0029891 (2012.03.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.17)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신승용 대한민국 인천광역시 연수구
2 문경일 대한민국 인천광역시 남동구
3 선주현 대한민국 인천광역시 연수구
4 정덕형 대한민국 서울특별시 동작구
5 이한찬 대한민국 경기도 시흥시 시흥대로 ****

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0609666-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0088409-25
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0314336-10
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0636175-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Mo 분말 50~95at%와, Cu 분말 5~50at%가 되도록 원료분말을 준비하는 단계와;상기 Mo과 Cu의 분말과 볼을 용기 내에 장입한 후 질소분위기에서 회전시켜, Mo과 Cu의 분말을 파괴 및 분포시키는 동시에 분말 내부의 조직을 나노 크기로 미세 입자화하는 기계적 합금화단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기계적 합금화단계에서는 유성형볼밀(planetary ball mill)을 이용하는 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말 제조방법
3 3
제 1항의 제조방법에 의해 Mo 분말 50~95at%와, Cu 분말 5~50at%이 혼합되어 제조된 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말
4 4
Mo 분말 50~95at%와, Cu 분말 5~50at%가 되도록 원료분말을 준비하는 단계와;상기 Mo과 Cu의 분말과 볼을 용기 내에 장입한 후 회전시켜, Mo과 Cu의 분말을 파괴 및 분포시키는 동시에 분말 내부의 조직을 나노 크기로 미세 입자화하는 기계적 합금화단계와;기계적 합금화를 통해 성형된 합금분말에 소결 압력을 가하는 동시에 높은 전류 밀도의 DC펄스 전류를 가하여 합금분말을 소결시키는 스파크 플라즈마 소결단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말을 이용한 타겟 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 기계적 합금화단계에서는 유성형볼밀(planetary ball mill)을 이용하는 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말을 이용한 타겟 제조방법
6 6
제 4항의 제조방법에 의해 Mo 분말 50~95at%와, Cu 분말 5~50at%이 혼합되어 제조된 것을 특징으로 하는 나노 구조 코팅용 합금분말을 이용하여 제조한 타겟
7 7
제 6항의 타겟에 의해 시편에 Mo 50~95at%와, Cu 5~50at%가 함유된 코팅막을 형성하는 것을 특징으로 하는 타겟을 이용한 나노 구조 코팅막
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.