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광조사장치 및 광조사방법

  • 기술번호 : KST2015149492
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 변위센서 및 이를 이용한 광조사장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 타겟으로 레이저를 송출하는 발광부와 상기 발광부로부터 송출되어, 상기 타겟에서 반사된 레이저를 수신하는 수광부와 상기 타겟으로부터 반사된 레이저가 수광부로 수신되면, 수신한 위치를 스캔 및 연산하여 상기 타겟의 변위값을 산출하는 변위감지부를 포함하는 변위센서 및 이를 이용한 광조사장치에 관한 것이다. 상술한 바와 같이, 본 발명인 변위센서 및 이를 이용한 광조사장치는 타겟의 이동에 따라 변위센서로부터 광조사 부위에서의 정확한 변위 정보를 얻어 정확한 포커싱이 가능하게 함으로써, 효율적인 광조사(예를 들어, 패턴형성)가 가능한 효과가 있다. 또한, 타겟의 정확한 포커싱에 따라 상기 타겟에 대한 효율적인 광조사(예를 들어, 패턴형성)를 할 수 있는 효과가 있다. 하나의 적용분야 예로, 디스플레이 제조분야의 노광공정에 적용 시, 마스크를 사용하지 않으므로 마스크 제작비용 및 공정시간이 절약되는 효과가 있다. 변위센서, 광조사, 레이저, 타겟, 광원, 이미지 센서
Int. CL G01B 11/00 (2006.01) G01B 11/14 (2006.01)
CPC G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01)
출원번호/일자 1020080062840 (2008.06.30)
출원인 한국생산기술연구원, (주)하드램
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0002806 (2010.01.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 (주)하드램 대한민국 경기도 안산시 단원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정훈 대한민국 서울 광진구
2 강성복 대한민국 경기 용인시 수지구
3 김종석 대한민국 경기 안산시 단원구
4 이강원 대한민국 충청남도 천안시
5 민성욱 대한민국 경기도 성남시 중원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0472232-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.02.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0015814-66
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0556872-39
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0267302-07
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0546739-10
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0546755-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0599124-18
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0146712-41
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0154201-65
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0154209-29
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0557123-34
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.08 수리 (Accepted) 4-1-2020-0035263-20
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
타겟으로 레이저를 송출하는 발광부와; 상기 타겟에서 반사된 레이저를 수신하는 수광부와; 상기 타겟으로부터 반사된 레이저가 수광부로 수신되면, 수신한 위치를 스캔 및 연산하여 상기 타겟의 변위값을 산출하는 변위감지부를 포함하는 변위센서
2 2
제1항에 있어서, 상기 변위감지부는 상기 타겟으로부터 반사된 레이저로 수신되는 전위치값과 상기 타겟의 이동에 따라 반사된 레이저로 수신된 후위치값의 차이를 계산하여 상기 타겟의 변위값을 출력함을 특징으로 하는 변위센서
3 3
제2항에 있어서, 상기 발광부는 전압인가를 통해 제어되며, 레이저 다이오드(Laser Diode) 및 빔 포커싱(Beam Focusing) 렌즈 중 적어도 하나를 포함함을 특징으로 하는 변위센서
4 4
제3항에 있어서, 상기 수광부는 CCD(Charge Coupled Device)와 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 및 PSD(Position Sensitive Detector) 중 적어도 하나를 포함함을 특징으로 하는 변위센서
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 하나에 기재된 변위센서를 포함하며, 상기 변위감지부로부터 상기 타겟의 변위값을 입력받아 상기 타겟으로 광원을 조사하기 위한 조사제어신호를 생성하는 제어부와; 상기 제어부로부터 생성된 조사제어신호에 응답하여 상기 타겟으로 패터닝 하기 위해 광원을 조사하는 조사부를 포함하는 광조사장치
6 6
타겟으로 레이저를 송출하는 송출단계와; 상기 타겟으로부터 반사된 레이저를 수신하는 수광단계와; 상기 타겟으로부터 반사된 레이저를 수신한 위치를 스캔 및 연산하여 상기 타겟의 변위값을 파악하는 변위감지단계를 포함하는 변위센싱방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 변위감지단계는 상기 타겟으로부터 반사된 레이저가 수신되는 전위치값과 상기 타겟의 이동 후, 반사된 레이저가 수신된 후위치값의 차이를 계산하여 상기 타겟의 변위값을 송신함을 특징으로 하는 변위센싱방법
8 8
패턴형성을 위한 노광공정을 포함하는 광학용 디스플레이 제조방법에 있어서 제6항 또는 제7항의 변위센싱방법을 수행하는 변위감지 단계를 포함하며, 상기 타겟의 변위값을 수신하고, 상기 타겟으로 광원을 조사하기 위한 조사제어신호를 생성하는 제어단계와; 상기 생성된 조사신호에 응답하여 상기 타겟으로 패터닝하기 위해 광원을 조사하는 조사단계를 포함하는 광학용 디스플레이 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.