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벌크 비정질 합금을 기반으로 다성분 합금타겟을 제조하는 단계; 및질소와 알곤의 혼합가스를 이용한 반응성 스퍼터링 공정을 통해 나노구조의 고경도, 저탄성, 저마찰 특성을 갖는 하드박막을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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벌크 비정질 합금 시스템을 기반으로 다성분 합금타겟을 제조하되, 상기 벌크 비정질 합금 시스템은 3원소 이상의 다성분으로 구성되고, 주 원소들간의 원자 반경의 크기가 12%이상으로 크고, 주원소간의 혼합열이 음의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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다 성분을 포함하여 나노구조를 갖는 나노코팅시스템을 기반으로 합금타겟을 제조하되, 상기 나노코팅시스템은 상호 고용도가 낮거나 전혀 고용되지 않은 두 개 이상의 성분들로서 구성하고, 합금원소 중에 적어도 하나는 질소 화합물을 형성할 수 있는 활성금속원소이고 나머지는 질소화합물을 형성하지 않으려 하는 연질금속 원소로 구성된 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 주원소간의 상호 불용성 내지는 낮은 고용성은 두 합금원소의 원자반경 차이가 크거나 각 원소의 우선 결정학적 구조가 상이함에 기인한 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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제3항에 있어서, 높은 비정질 형성능을 갖는 합금을 이용하여 급속응고를 통해 비정질 벌크로 직접 주조하는 방법, 비정질 분말을 넓은 과냉액체구간에서 프레스로 압착하여 분말소결하여 비정질 구조로 간접 분말성형하는 방법, 벌크 비정질 형성능을 갖는 합금을 고주파 콜드 크루시불을 이용하여 비교적 낮은 냉각속도를 갖는 평범한 급속응고공정에 의해 결정화를 용인하고 미세결정을 갖는 주조조직으로 제조하는 방법 중 어느 한 방법을 통해 벌크 비정질 합금을 타겟으로 만드는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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기지원소인 질소반응물 형성 천이원소와 그들에 대해 불용성의 특성을 보이는 합금원소들로 이루어진 코팅시스템을 이용하여 질소가스 반응성 스퍼터링 PVD공정을 통해 질소도핑 나노 금속결정상 또는 나노질소반응물(nitride)상을 포함하는 나노구조 하드박막을 제조하며, 상기 코팅시스템은 기지원소와 첨가원소의 순 성분타겟들을 동시-스퍼터링하여 불용성 내지는 낮은 고용성 합금계를 코팅조성시스템으로 하는 나노구조 박막을 이루는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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제6항에 있어서, 질소원소와 함께 치환형 합금원소를 동시에 첨가하는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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다성분 스퍼터링 타겟 합금조성은 3가지 이상 성분원소들로 구성하고, 활성금속과 연질금속을 포함하고, 특히 1mm 이상의 비정질형성능력을 갖는 벌크 비정질합금계를 기반으로 하는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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성분원소 3개 이상의 다성분 원소들로 구성되는 다성분 타겟 합금물질을 임의 부피를 갖는 준 타겟형상으로 성형함에 있어, 벌크 비정질 합금이 갖고 있는 비정질 형성능력을 이용하여 가스분무 분말 제조공정등과 같은 급속 응고 분말제조방법에 의해 비정질 구조를 갖는 합금분말을 제조하는 단계와 벌크 비정질합금이 갖는 과냉액체온도구간에서의 점성유동특성을 이용하여 비정질합금분말을 치밀화 성형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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활성금속과 연질금속이 포함된 3개 이상의 다성분계 비정질 합금타겟을 이용하여 감압의 아르곤과 질소의 혼합가스 분위기하에서 반응성 스퍼터링을 통해 성막하는 과정에서 타겟에 함유된 상호 불용성의 관계를 갖는 활성금속과 연질금속으로 구성된 합금 타겟으로부터 활성금속은 질소와 반응하여 경화질소화합물로 성막에 참여하고, 연질금속은 그 자체로 성막에 참여함으로서 2개 이상의 질화물상과 연질 금속상이 나노 크기로 복합화된 다성분 다기능성 나노복합박막을 구현하는 것을 특징으로 하는 다성분 합금계 스퍼터링 타겟 모물질 및 다기능성 복합코팅 박막 제조방법
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