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플라즈마 나노 분말 합성 및 코팅 장치 와 그 방법

  • 기술번호 : KST2015153108
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치는, 밀폐된 공간을 형성하며, 일측에 마련된 반응부와 타측에 마련된 공정부를 구비한 챔버를 포함하며, 상기 챔버에서 유동되는 기체의 상류측에 마련된 상기 반응부에서는 공급되는 전류에 의해 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치에 의해 형성된 고온의 플라즈마 영역이 구비되고, 혼합가스를 상기 반응부로 공급하는 혼합가스 공급부와, 상기 반응부로 분말을 공급하는 분말 공급부가 구비되며, 상기 챔버에서 유동되는 기체의 하류측에 마련된 상기 공정부에는, 소재를 지지하는 지지부를 구비하며, 상기 챔버 내부를 진공으로 형성시키는 진공형성부;를 포함하고, 상기 반응부로 공급된 분말은 상기 반응부의 상기 플라즈마 영역에서 반응되며, 상기 반응된 분말이 상기 반응부, 상기 공정부 및 상기 지지부 표면에서 합성되며, 상기 지지부의 소재 표면에 코팅되어 코팅층을 형성하며, 상기 플라즈마 토치는 상기 반응부의 상부 중심에서 이격되어 복수로 마련되어 등간격으로 상기 반응기 상부에 배치되어 상기 플라즈마 토치는 상기 반응부의 중앙 영역에서 상기 플라즈마 영역을 합성하여 형성하고, 상기 분말 공급부는 분말을 상기 반응부의 중앙 영역에 형성된 상기 플라즈마 영역으로 공급 가능하게 상기 반응부의 중심에 배치된 것을 특징으로 한다.이에, 이종 분말을 반응, 합성 및 코팅을 동시에 할 수 있으며, 다양한 반응 조건을 간단하고 편리하게 조절할 수 있다.
Int. CL C23C 4/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110048161 (2011.05.20)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1301967-0000 (2013.08.26)
공개번호/일자 10-2012-0130039 (2012.11.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.20)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종휘 대한민국 대전광역시 유성구
2 이형재 대한민국 대전광역시 유성구
3 김용일 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정무석 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 ***, ***호(서초동,수복빌딩)(송연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0379531-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5001923-88
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.11.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2012-0090608-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0065423-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0279397-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0279398-51
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0583754-57
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003356-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밀폐된 공간을 형성하며, 일측에 마련된 반응부와 타측에 마련된 공정부를 구비한 챔버를 포함하며,상기 챔버에서 유동되는 기체의 상류측에 마련된 상기 반응부에서는 공급되는 전류에 의해 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치에 의해 형성된 고온의 플라즈마 영역이 구비되고, 혼합가스를 상기 반응부로 공급하는 혼합가스 공급부와, 상기 반응부로 분말을 공급하는 분말 공급부가 구비되며,상기 챔버에서 유동되는 기체의 하류측에 마련된 상기 공정부에는, 소재를 지지하는 지지부를 구비하며,상기 챔버 내부를 진공으로 형성시키는 진공형성부;를 포함하고,상기 반응부로 공급된 분말은 상기 반응부의 상기 플라즈마 영역에서 반응되며, 상기 반응된 분말이 상기 반응부, 상기 공정부 및 상기 지지부 표면에서 합성되며, 상기 지지부의 소재 표면에 코팅되어 코팅층을 형성하며,상기 플라즈마 토치는 상기 반응부의 상부 중심에서 이격되어 복수로 마련되어 등간격으로 상기 반응기 상부에 배치되어 상기 플라즈마 토치는 상기 반응부의 중앙 영역에서 상기 플라즈마 영역을 합성하여 형성하고,상기 분말 공급부는 분말을 상기 반응부의 중앙 영역에 형성된 상기 플라즈마 영역으로 공급 가능하게 상기 반응부의 중심에 배치된 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 분말 공급부에서 공급되는 분말은 복수의 분말이며,공급되는 분말의 종류는 금속 분말, 카본, 세라믹 및 무기물 분말 중에서 상이한 종류가 공급되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 반응부와 상기 공정부 사이에 마련되어 유로의 폭과 길이를 조절할 수 있도록 상기 챔버에 착탈 가능한 노즐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 노즐부와 상기 반응부의 내벽 사이로 유동되는 분말을 회수 가능하게 분말에 열전달 가능한 냉각부재를 구비하여 상기 노즐부와 상기 반응부 사이에 마련된 반응영역 회수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 공정부에 마련되어 상기 반응부에서 비산되는 분말을 포집 가능하게 상기 지지부와 근접 배치된 공정영역 분말회수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 챔버와 상기 진공형성부 사이에 개재되어 상기 챔버 외측으로 비산되는 상기 분말을 포집 가능하게 마련된 보조 분말회수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 지지부에 지지되는 소재는 막 형상을 포함하고, 상기 소재는 일측은 풀리고 타측은 감기도록 마련되어 상기 소재가 이동하는 과정에서 상기 소재 표면에 코팅이 되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 장치
9 9
삭제
10 10
밀폐된 공간을 가지며 일측에 반응부와 타측에 공정부를 구비한 챔버를 형성하여 상기 반응부에 공급되는 전류에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 토치에 의해 고온의 플라즈마 영역을 형성하는 단계와;상기 반응부에 혼합가스를 공급하는 단계와;상기 챔버 내부를 진공으로 형성하는 단계와;상기 반응기에 분말을 공급하는 단계와;상기 분말을 상기 플라즈마 영역에서 반응시키는 단계와;상기 공정부에 마련되어 소재를 지지하는 지지부에 마련된 소재의 표면에 상기 반응된 분말을 코팅 또는 합성하는 단계와;상기 공정부의 상기 지지부와 근접 배치되어 상기 반응부에서 비산되는 분말을 포집하여 회수하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 분말 반응 단계에서는 금속 분말, 카본, 세라믹 및 무기물 분말 중에서 상이한 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
제10항에 있어서,상기 진공형성부에 의해 형성되는 상기 챔버 내부의 진공도, 상기 플라즈마 토치에 공급되는 전류 및 상기 혼합가스 공급부에서 공급되는 혼합가스량 중 적어도 하나를 제어하여 상기 지지부에 지지된 소재의 표면에 코팅되는 코팅층을 제어하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
제10항에 있어서,상기 챔버와 상기 진공형성부 사이에 개재되어 상기 챔버 외측으로 비산되는 상기 분말을 포집하여 회수하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
18 18
삭제
19 19
제10항에 있어서,상기 노즐부와 상기 반응부의 내벽 사이로 유동되는 분말을 회수 가능하게 분말에 열전달 가능한 냉각부재를 구비하여 상기 노즐부와 상기 반응부 사이에 마련된 반응영역 회수부를 구비하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
20 20
제10항에 있어서, 상기 지지부에 지지되는 소재는 막 형상을 포함하고, 상기 소재는 일측은 풀리고 타측은 감기도록 마련되어 상기 소재가 이동하는 과정에서 상기 소재 표면에 코팅이 되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 나노분말 합성 및 코팅 방법
21 21
삭제
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02525631 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02525631 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 US20120295033 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2525631 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2525631 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 US2012295033 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지경부 KIER 주요사업 고출력 장수명 Supercapacitor용 나노구조 카본파복 집전체 개발