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매니퓰레이터(manipulator) 조정장치의 암(arm) 멤버를 회전시키는 가이드 모듈에 있어서,내부에 실린더를 구비하는 원호 형상의 가이드;상기 실린더에 일부가 삽입되어 가스가 유입 또는 배출될 때, 상기 실린더 외주에 결합되는 암 멤버를 회전시키는 피스톤; 및상기 가스가 상기 실린더에 유입되거나, 상기 실린더로부터 배출되도록 상기 실린더에 형성되는 유출입부를 포함하고,상기 피스톤은 자석을 구비하고, 상기 암 멤버는 상기 자석과 자기 결합하는 체결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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제1항에 있어서,상기 가이드 외주에 일면에서 내측으로 리세스되는 그루브부가 형성되고,상기 체결부는 상기 그루브부를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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제2항에 있어서,상기 그루브부와 상기 실린더를 구획하는 가이드의 외주는 비자성체(non-magnetic material)로 형성되는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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제3항에 있어서,상기 그루브부의 양측에 상기 체결부의 움직임을 제한하도록 형성되는 걸림부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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제1항에 있어서,상기 유출입부는 상기 가이드의 양단에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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제4항에 있어서,상기 피스톤은 상기 실린더의 내주에 대응하는 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 매니퓰레이터 조정장치의 가이드 모듈
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