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접합재(10, 10a)(210, 210a)가 밀봉 상태가 되도록 50 내지 500㎛의 두께를 가지는 금속 시트 또는 판형으로 형성되는 진공 챔버(3, 203);상기 진공 챔버(3, 203)의 벽면 일측에 진공펌프와 연결되도록 구비된 진공구(13, 213); 및상기 접합재(10, 10a)(210, 210a)를 가열하도록 상기 진공 챔버(3, 203)의 외벽면 둘레에 설치된 발열체(7, 207);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합장치
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제1항에 있어서,상기 진공 챔버(3) 내의 상기 접합재(10, 10a)를 가압하도록 하는 가압장치(11)가 상기 진공 챔버(3)의 내측에 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 진공 챔버(3, 203)는 스테인레스 스틸, 니켈, 알루미늄 또는 동 중 한 가지 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합장치
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50 내지 500㎛의 두께를 가지는 금속 시트로 진공 챔버(3, 203)를 제작하는 단계(S10);상기 진공 챔버(3, 203) 내에 접합재(10, 10a)(210, 210a)를 장입하고 상기 진공 챔버(3, 203)를 진공 상태로 밀봉하는 단계(S20); 및상기 진공 챔버(3, 203)의 외부에 있는 발열체(7, 207)로 열을 가하여 상기 접합재(10, 10a)(210, 210a)를 접합하는 단계(S30);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합방법
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제7항에 있어서,상기 밀봉단계(S20)에서 상기 진공 챔버(3)를 밀봉한 다음에 상기 진공 챔버(3)의 내측에 구비된 가압장치(11)에 의해 상기 접합재(10, 10a)를 가압하는 단계(S40);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합방법
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제7항에 있어서,상기 밀봉단계(S20)에서 상기 진공 챔버(3)를 밀봉한 다음에 상기 진공 챔버(3)의 내측에 구비된 가압장치(11)에 의해 상기 접합재(10, 10a)를 가압하는 단계(S40);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 접합재의 진공 접합방법
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