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상변화 물질(Ge_xSb_yTe_z)에 대한 건식 식각방법

  • 기술번호 : KST2015157322
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상변화 물질(GexSbyTez)에 대한 건식 식각 방법에 관한 것이다. 특히, 브로민계 가스를 식각가스로 사용하고, 상기 식각가스를 플라즈마화하여 상기 플라즈마 중의 이온 및 라디칼에 의해 GexSbyTez 합금을 식각하는 단계를 포함하는 상변화 물질에 대한 건식 식각 방법에 대한 것이다. 본 발명의 건식 식각에 따른 상변화 물질은 종래 화학용액을 사용하는 습식 식각과 다른 식각가스와 식각공정 조건들을 사용하는 건식식각에 비해 그 결과로서 빠른 식각속도와 재증착이 없는 깨끗한 이방성 식각 프로파일을 보이는 등 우수한 식각 특성을 나타낸다.상변화 물질, 건식 식각, 플라즈마 식각법, 브로민계 가스, HBr
Int. CL H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01L 21/3065(2013.01) H01L 21/3065(2013.01) H01L 21/3065(2013.01)
출원번호/일자 1020060079563 (2006.08.22)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0805844-0000 (2008.02.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정지원 대한민국 서울 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0598814-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0032593-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0354083-17
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0621457-39
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0696940-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0772926-48
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0772927-94
9 등록결정서
Decision to grant
2008.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0074087-44
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2008-0003929-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
브로민계 가스로서 HBr 또는 Br2 및 H2의 혼합가스를 주 식각가스로 사용하고, 상기 식각가스를 플라즈마하여 상기 플라즈마 중의 이온 및 라디칼에 의해 GexSbyTez 합금(식중, x, y 및 z는 정수)을 식각하는 단계를 포함하는 상변화 물질에 대한 건식 식각 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 HBr 가스의 농도는 40 부피% 이상이고, 잔부는 He, Ne, Ar 및 N2 가스로부터 1종 이상이 선택되는 불활성 가스임을 특징으로 하는 상변화 물질에 대한 건식 식각 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 식각가스의 플라즈마화는 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각법을 포함하는 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각법, 자기 증강 반응성 이온 식각법 및 반응성 이온 식각법 중에서 선택된 방법에 의해 수행됨을 특징으로 하는 상변화 물질에 대한 건식 식각 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 식각 공정은 700 W 내지 1000 W의 코일 고주파 전력, 200 V 내지 300 V의 dc-바이어스 전압 및 5 mTorr 내지 10 mTorr 범위의 가스 압력에서 수행됨을 특징으로 하는 상변화 물질에 대한 건식 식각 방법
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.