맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

정렬 마크를 이용한 ２축 회전 스테이지의 회전축 정렬 방법 및 그 장치

  • 기술번호 : KST2015157902
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정렬 마크를 이용한 2축 회전 스테이지의 회전축 정렬 방법 및 그 장치가 개시된다. 2축 회전 스테이지의 회전축과 회전 중심을 결정하는 스테이지 제어 방법에 있어서, 2축 회전 스테이지는 일 축이 CCD 카메라에 수직한 방향이고 다른 축이 일 축과 수직한 축으로 구성되며, CCD 카메라와 대향(對向)하여 2축 회전 스테이지와 CCD 카메라의 사이에 정렬 마크를 위치시키는 것을 특징으로 하며, 이때 스테이지 제어 방법은 CCD 카메라를 통해 정렬 마크가 촬영된 CCD 영상을 이용하여 2축 회전 스테이지의 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 결정하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 35/02 (2006.01) G01N 1/36 (2006.01) G01N 21/956 (2006.01)
CPC G01N 35/02(2013.01) G01N 35/02(2013.01) G01N 35/02(2013.01) G01N 35/02(2013.01)
출원번호/일자 1020120018483 (2012.02.23)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1320712-0000 (2013.10.15)
공개번호/일자 10-2013-0096910 (2013.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20131021) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.23)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오범환 대한민국 인천 연수구
2 임해동 대한민국 인천 부평구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 지오이에스 서울특별시 송파구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0148297-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.03.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0012453-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0270326-77
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0434981-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0537560-37
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0537562-28
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0692570-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
2축 회전 스테이지의 회전축과 회전 중심을 결정하는 스테이지 제어 방법에 있어서,상기 2축 회전 스테이지는 일 축이 CCD 카메라에 수직한 방향이고 다른 축이 상기 일 축과 수직한 축으로 구성되며,상기 CCD 카메라와 대향(對向)하여 상기 2축 회전 스테이지와 상기 CCD 카메라의 사이에 정렬 마크를 위치시키고,상기 스테이지 제어 방법은,상기 CCD 카메라를 통해 상기 정렬 마크가 촬영된 CCD 영상을 이용하여 상기 2축 회전 스테이지의 이동에 따른 상기 정렬 마크의 위치를 추적함으로써 상기 2축 회전 스테이지의 회전축에 대한 3차원 좌표계인 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 결정하는 단계를 포함하고,상기 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 결정하는 단계는,(1) 상기 다른 축이 초기 값으로 고정된 상태에서 상기 정렬 마크가 촬영된 회전 전 이미지를 입력 받는 단계;(2) 상기 다른 축이 일정 각도 회전된 상태에서 상기 정렬 마크가 촬영된 회전 후 이미지를 입력 받는 단계;(3) 상기 회전 전 이미지를 오일러 공식을 이용하여 상기 일정 각도 회전시키는 단계;(4) 상기 회전 후 이미지와 상기 (3) 단계에서 회전된 회전 전 이미지의 상기 정렬 마크의 위치 차이를 통해 상기 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 구하는 단계; 및(5) 상기 (4) 단계에서 계산된 상기 회전축 방위각을 상기 초기 값으로 하여 상기 (1) 단계 내지 상기 (4) 단계를 반복하는 단계를 포함하며,상기 회전축 방위각은 (θ, φ)(여기서, θ는 상기 일 축과 상기 CCD 카메라 상에서의 실제 회전축이 이루는 각도이고, φ는 상기 다른 축과 상기 CCD 카메라 상에서의 실제 회전축이 이루는 각도임)이고, 상기 회전 중심 좌표는 상기 2축 회전 스테이지의 회전축을 지나는 임의의 한 점(x0,y0,z0)인 것을 특징으로 하는 스테이지 제어 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 정렬 마크는,상기 2축 회전 스테이지의 관측 영역 중심에서 일정 거리 이내에 위치한 복수의 점으로 구성된 것을 특징으로 하는 스테이지 제어 방법
5 5
2축 회전 스테이지의 회전축과 회전 중심을 결정하는 스테이지 제어 장치에 있어서,상기 2축 회전 스테이지의 일 축과 수직한 방향에 위치하는 CCD 카메라;상기 CCD 카메라와 대향(對向)하여 상기 2축 회전 스테이지와 상기 CCD 카메라의 사이에 위치하는 정렬 마크; 및상기 CCD 카메라를 통해 상기 정렬 마크가 촬영된 CCD 영상을 이용하여 상기 2축 회전 스테이지의 이동에 따른 상기 정렬 마크의 위치를 추적함으로써 상기 2축 회전 스테이지의 회전축에 대한 3차원 좌표계인 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 결정하는 컴퓨터를 포함하고,상기 2축 회전 스테이지는,상기 일 축이 상기 CCD 카메라에 수직한 방향이고 다른 축이 상기 일 축과 수직한 축으로 구성되며,상기 컴퓨터는,(1) 상기 다른 축이 초기 값으로 고정된 상태에서 상기 정렬 마크가 촬영된 회전 전 이미지를 입력 받고, (2) 상기 다른 축이 일정 각도 회전된 상태에서 상기 정렬 마크가 촬영된 회전 후 이미지를 입력 받고, (3) 상기 회전 전 이미지를 오일러 공식을 이용하여 상기 일정 각도 회전시키고, (4) 상기 회전 후 이미지와 상기 (3) 과정에서 회전된 회전 전 이미지의 상기 정렬 마크의 위치 차이를 통해 상기 회전축 방위각과 회전 중심 좌표를 구하고, (5) 상기 (4) 과정에서 계산된 상기 회전축 방위각을 상기 초기 값으로 하여 상기 (1) 과정 내지 상기 (4) 과정을 반복하며,상기 회전축 방위각은 (θ, φ)(여기서, θ는 상기 일 축과 상기 CCD 카메라 상에서의 실제 회전축이 이루는 각도이고, φ는 상기 다른 축과 상기 CCD 카메라 상에서의 실제 회전축이 이루는 각도임)이고, 상기 회전 중심 좌표는 상기 2축 회전 스테이지의 회전축을 지나는 임의의 한 점(x0,y0,z0)인 것을 특징으로 하는 스테이지 제어 장치
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 인하대학교 산학협력단 정보통신기술인력양성 고성능 LED 조명용 모듈 핵심 기술 개발 연구