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양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법

  • 기술번호 : KST2015157913
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밸브메탈을 전해연마하는 단계; 상기 밸브메탈 표면 위에 네거티브 포토레지스트를 스핀 코팅하는 단계; 상기 밸브메탈 표면을 노광한 후 현상하여 현상되지 않은 기둥 모양을 남기는 단계; 암모늄 아디페이트, 암모늄 설페이트, 암모늄 보레이트 및 붕산으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 이용하여 양극산화하는 단계; 네거티브 포토레지스트 제거 후 구리(Cu)를 스퍼터링 하는 단계; 및 산성용액에서 에칭하는 단계를 포함하는, 양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/3213 (2006.01)
CPC H01L 21/32139(2013.01) H01L 21/32139(2013.01) H01L 21/32139(2013.01)
출원번호/일자 1020120006470 (2012.01.20)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1357348-0000 (2014.01.23)
공개번호/일자 10-2013-0085599 (2013.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20140204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 탁용석 대한민국 서울 서초구
2 최진섭 대한민국 경기 부천시 원미구
3 이호연 대한민국 인천 남동구
4 박가연 대한민국 경기 고양시 일산서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0053903-41
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0095260-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0313037-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0612486-49
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0612487-95
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0768234-66
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-1041039-40
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.11.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1041040-97
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0819379-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밸브메탈을 과염소산 용액에서 전해연마하는 단계;상기 전해연마된 밸브메탈 표면 위에 네거티브 포토레지스트를 스핀 코팅하는 단계;상기 포토레지스트로 스핀 코팅된 밸브메탈 표면을 노광한 후 현상하여 현상되지 않은 기둥 모양을 남기는 단계;상기 노광 후 기둥 모양이 남은 밸브메탈을 암모늄 아디페이트, 암모늄 설페이트, 암모늄 보레이트 및 붕산으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 이용하여 양극산화하는 단계; 상기 양극산화된 밸브메탈에서 네거티브 포토레지스트 제거 후 상기 네거티브 포토레지스트가 제거되어 양극산화된 밸브메탈 표면 전체에 구리(Cu)를 스퍼터링 하는 단계; 및 상기 구리가 스퍼터링된 밸브메탈을 산성용액에서 50 ~ 60℃에서 200 ~ 800 mA/cm2로 에칭하는 단계를 포함하는, 양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 밸브메탈은 양극산화 가능한 금속으로서, 알루미늄, 티타늄, 지르코늄 및 나이오븀으로 이루어진 군에서 선택된 것을 특징으로 하는, 양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 양극산화는 상온 ~ 90℃에서 100 ~ 150V로 수행하는 것을 특징으로 하는, 양극산화를 이용한 밸브메탈의 균일한 에치 패턴 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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