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알루미늄 기판의 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015157975
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, a) 패턴이 형성된 마스터 스탬프를 제조하는 단계; (b) 알루미늄 기판에 에폭시(epoxy)를 증착하고 상기 마스터 스탬프 이용하여 압인하는 단계; (c) 유브이 램프(UV lamp)를 이용하여 상기 에폭시를 경화시키는 단계; (d) 오투 플라즈마(O2 plasma)를 사용하여 상기 알루미늄 기판의 압인부위가 표출될 때까지 에폭시를 식각하는 단계; (e) 상기 알루미늄 기판의 압인부위를 에칭하여 패턴을 형성하는 단계; (f) 상기 알루미늄 기판상의 에폭시를 박리하는 단계를 포함하는 알루미늄 기판의 패터닝 방법이 제공된다.따라서 일래스토머 스탬프로 주로 사용하는 PDMS에 있어 공정 중 주로 사용되는 톨루엔 등의 유기용제 사용을 배제하여 PDMS 스탬프가 변형되는 것을 방지하고 재사용이 가능하여 공정의 효율성을 높이고 비용을 감소시키는 효과가 있다.한편 일반적으로 유기용제는 유독성이 있으며 특히 톨루엔은 고휘발성이고 인체에 유해하므로 공정 중 사용을 배제시켜 작업환경이 개선된다.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/265(2013.01) G03F 7/265(2013.01) G03F 7/265(2013.01) G03F 7/265(2013.01)
출원번호/일자 1020120099983 (2012.09.10)
출원인 인하대학교 산학협력단, 주식회사삼영에스앤씨
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0037296 (2014.03.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
2 주식회사삼영에스앤씨 대한민국 경기도 성남시 중원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 탁용석 대한민국 서울 서초구
2 최진섭 대한민국 경기 부천시 원미구
3 박가연 대한민국 서울 마포구
4 김경민 대한민국 전북 전주시 완산구
5 이호연 대한민국 인천 남동구
6 박창현 대한민국 경기 동두천시
7 박상익 캐나다 서울 강남구
8 김영민 대한민국 경기 성남시 중원구
9 박승현 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0729280-16
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0736593-66
3 보정요구서
Request for Amendment		 2012.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0114883-73
4 직권수리안내서
Notification of Ex officio Acceptance		 2012.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0115135-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2018-5153219-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 패턴이 형성된 마스터 스탬프를 제조하는 단계;(b) 알루미늄 기판에 에폭시(epoxy)를 증착하고 상기 마스터 스탬프 이용하여 압인하는 단계;(c) 유브이 램프(UV lamp)를 이용하여 상기 에폭시를 경화시키는 단계;(d) 오투 플라즈마(O2 plasma)를 사용하여 상기 알루미늄 기판의 압인부위가 표출될 때까지 에폭시를 식각하는 단계; (e) 상기 알루미늄 기판의 압인부위를 에칭하여 패턴을 형성하는 단계;(f) 상기 알루미늄 기판상의 에폭시를 박리하는 단계를 포함하는 알루미늄 기판의 패터닝 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 (a)단계는 기판 위에 포토레지스트(photo resist)를 스핀 코팅하는 단계, 패턴이 형성된 마스크를 상기 포토레지스트 상에 적층하고 노광시켜 현상하고 상기 포토레지스트를 패턴형상으로 형성하는 단계, 패턴이 형성된 상기 포토레지tm트 상에 PDMS를 도포하여 마스터 스탬프를 성형하는 단계, 상기 PDMS를 분리시켜 패턴이 형성된 마스터 스탬프를 제조하는 단계를 포함하는 알루미늄 기판의 패터닝 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 (a)단계 이후에 과염소산(perchloric acid)과 에탄올을 1:3 비율로 혼합한 용액에서 3분간 10V로 전해연마 하는 것을 더 포함하는 알루미늄 기판의 패터닝 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 (c)단계는 2시간내지 3시간 동안, 300nm~400nm 유브이 램프를 조사(照射)하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 기판의 패터닝 방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기(d)단계의 오투 플라즈마(O2 Plasma)는 100W RF출력으로 60초 내지 120초, 바람직하게는 60초간 조사하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 막의 패터닝 방법
6 6
청구항 1에 있어서, 상기(d)단계의 이후에 스퍼터링(Sputting) 방법을 이용하여 구리박막을 표출된 알루미늄 기판에 코팅하는 단계를 더 포함하는 알루미늄 막의 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 (주)삼영에스앤씨 부품소재기술개발사업 Nano Pore 구조를 이용한 정전 용량 3㎌(±3%)급, 50㎜×50㎜×5㎜ 크기의 박막 적층 캐패시터 개발