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H2O 가스 또는 H2O2 가스를 식각 가스로 준비하는 단계(S100); 및상기 식각 가스를 플라즈마화 시킨 후, 상기 플라즈마 중의 이온 및 라디칼에 의해 식각하는 단계(S200); 를 포함하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서, 상기 H2O 가스로는 He, Ne, Ar 및 N2로 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제2항에 있어서, 상기 H2O 가스와 Ar 가스의 혼합가스는 상기 H2O 가스가 20% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서,상기 H2O 가스로는 CH4, CH3OH 및 C2H5OH 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제4항에 있어서,상기 H2O 가스와 CH4 가스의 혼합가스는 상기 H2O 가스가 20% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서, 상기 H2O 가스로는 O2 가스와, He, Ne, Ar 및 N2로 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제6항에 있어서, 상기 첨가 가스는 상기 O2 가스가 20% 이하로 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서, 상기 H2O2 가스로는 He, Ne, Ar 및 N2로 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제8항에 있어서, 상기 H2O2 가스와 Ar 가스의 혼합가스는 상기 H2O 가스가 20% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서,상기 H2O2 가스로는 CH4, CH3OH 및 C2H5OH 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제10항에 있어서,상기 H2O2 가스와 CH4 가스의 혼합가스는 상기 H2O2 가스가 20% 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서, 상기 H2O2 가스로는 O2 가스와, He, Ne, Ar 및 N2로 이루어진 군으로부터 1종 이상의 가스가 첨가 가스로 첨가되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제12항에 있어서, 상기 첨가 가스는 상기 O2 가스가 20% 이하로 포함되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서,상기 식각 가스를 준비하는 단계(S100)는,액체 상태의 H2O 또는 H2O2를 기화기를 이용하여 기화시키는 단계(S110)와,상기 기화된 가스를 가열하여 상기 H2O 가스 또는 상기 H2O2 가스를 생성하는 단계(S120)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항에 있어서, 상기 식각 가스의 플라즈마화 처리는,유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각법을 포함하는 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각법, 자기 증강 반응성 이온 식각법 및 반응성 이온 식각법 중 어느 하나를 선택하여 수행되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법
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제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 건식 식각 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조(MTJ stack)를 가진 메모리 소자
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제1항에 기재된 상기 H2O 가스 또는 상기 H2O2 가스를 생성시키기 위한 기화장치로서,외주면에 히팅 패드(12)가 구비된 기화기 용기(10);상기 기화기 용기(10)의 일측에 연결되어 액체 상태의 H2O 또는 H2O2가 유입되는 유입라인(30); 및상기 기화기 용기(10)의 타측에 연결되어 상기 히팅 패드(12)에 의해 기화된 H2O 가스 또는 H2O2 가스가 유입되어 반응 챔버(200)로 배출되는 배출라인(40);을 포함하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법을 위한 기화장치
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제17항에 있어서,상기 배출라인(40)은 상기 기화된 H2O 가스 또는 H2O2 가스가 상기 반응 챔버(200)로 이동하는 동안 응축되는 것을 방지하도록 열선(42)과 MFC(44)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법을 위한 기화장치
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제17항에 있어서,상기 기화기 용기(10)는 그 내부 온도를 측정하기 위한 온도 측정계(14)와, 상기 기화된 H2O 가스 또는 H2O2 가스의 압력을 측정하기 위한 압력 게이지(16)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 자기터널접합 구조용 건식 식각 방법을 위한 기화장치
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