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벌크 상태에서의 제 1 결정구조와 상이한 제 2 결정구조를 갖는 것으로서, 하기 일반식 (1) 로 표시되는 물질을 포함하는 다강체 막:RMnO3 …(1)(식 중, R은 란탄계열의 원소를 나타낸다)
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 결정구조는 사방정계이고, 상기 제 2 결정구조는 육방정계인 것을 특징으로 하는 다강체 막
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제 1 항에 있어서, 상기 R이 La, Pr, Nd, Sm 또는 Eu 인 경우, 상기 제 1 결정구조를 갖는 물질은 다강체의 특성을 갖지 않고, 상기 제 2 결정구조를 갖는 물질은 다강체의 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 다강체 막
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제 1 항에 있어서, 상기 R이 Gd, Tb 또는 Dy 인 경우, 상기 제 1 결정구조를 갖는 물질 및 상기 제 2 결정구조를 갖는 물질은 모두 다강체의 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 다강체 막
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제 1 항에 있어서, 상기 물질은 제 1 결정구조에서보다 제 2 결정구조에서 더 높은 강유전체 상전이 온도를 갖는 것을 특징으로 하는 다강체 막
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제 1 항에 있어서, 상기 물질은 제 1 결정구조에서보다 제 2 결정구조에서 더 높은 강유전체 잔여분극(PR)값을 갖는 것을 특징으로 하는 다강체 막
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7
제 1 항에 있어서, 상기 물질은 반강유전체의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 다강체 막
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벌크 상태에서의 물질의 표면구조인 제 1 표면구조와 상이한 제 2 표면구조를 갖는 기판 상에, 제 1 항 내지 제 7 항의 다강체 막을 제조하는 방법
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9
제 8 항에 있어서, 상기 제 2 표면구조는 육각형 형태이며, 상기 제 2 결정구조는 육방정계인 것을 특징으로 하는 방법
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10
제 8 항에 있어서, 상기 기판은 사파이어 기판 또는 YSZ (yttria-stabilized zirconia) 기판인 것을 특징으로 하는 방법
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벌크 상태에서의 물질의 표면구조인 제 1 표면구조와 상이한 제 2 표면구조를 갖는 도전막; 및상기 도전막 상에 벌크 상태에서의 제 1 결정구조와 상이한 제 2 결정구조를 갖는 것으로서, 하기 일반식 (1) 로 표시되는 상기 물질을 포함하는 다강체 막:RMnO3 …(1)(식 중, R은 란탄계열의 원소를 나타낸다) 을 포함하는 구조물
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12
제 11 항에 있어서, 상기 제 2 표면구조는 육각형 형태이며, 상기 제 2 결정구조는 육방정계인 것을 특징으로 하는 구조물
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13
제 11 항에 있어서, 상기 도전막은 Ru, Os, Ir, Pt, Ti, TiN, Au, IrO2, SrRuO3 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 전도성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 구조물
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14
제 13 항에 있어서, 상기 전도성 물질은 Pt 를 포함하는 것을 특징으로 하는 구조물
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