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플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 3차원 구조의 형태로 적층된 제 1 미세 전극; 및 상기 제 1 미세 전극 상에 적층된 제 2 미세 전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 내측 또는 일측에 패드가 구비되며, 상기 플렉서블 기판 내부에는 상기 제 1 전극과 상기 패드를 전기적으로 연결하는 미세 금속선이 구비되는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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제 2 항에 있어서, 상기 패드 및 미세 금속선은 일체형의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 PDMS(Poly dimethyl siloxane), 폴리 카보네이트(Poly carbonate), PMMA(Poly methyl methacrylate), COC(Cyclo olefin copolymer), 폴리이미드(Polyimide), 파릴린(Parylene) 중 어느 하나로 구성되거나 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 미세 전극은 동일한 재질로 구성되거나 서로 다른 재질로 구성될 수 있으며, 상기 제 1 및 제 2 미세 전극은 금, 백금, 니켈, 알루미늄, 구리, 이리듐, 이리듐 옥사이드, ITO(Indium Tin Oxide), 폴리피롤(Poly pyrrole) 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 미세 전극은 피라미드구조, 프리즘 구조, 사면체구조, 오면체구조, 다면체구조, 사각기둥구조, 오각기둥구조, 육각기둥구조, 다각기둥구조, 원기둥구조 또는 원뿔구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 구조의 미세 전극 어레이
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