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Ru 박막 증착방법

  • 기술번호 : KST2015160763
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요약 Ru 박막이 증착되는 확산방지막을 활성화시키는 전처리 공정이 포함되는 Ru 박막 증착방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 방법은, 확산방지막 상에 Ru 박막을 증착하는 방법에 있어서, Ru 박막을 증착하기 전에 확산방지막을 팔라듐으로 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 핵생성에 필요한 인큐베이션 타임을 줄여 증착속도 개선효과가 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있고, 종래보다 비저항값이 작아져서 열처리 공정이 필요 없으므로 생산성이 향상되며, 우수한 표면거칠기를 얻을 수 있으므로 커패시터의 하부전극으로 사용되면 누설전류가 감소되고, 항복전압이 증가하여 전기적 특성이 좋아진다. Ru, 팔라듐 활성화, 인큐베이션 타임, 표면거칠기, 확산방지막
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 28/65(2013.01) H01L 28/65(2013.01) H01L 28/65(2013.01)
출원번호/일자 1020020077444 (2002.12.06)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0530008-0000 (2005.11.14)
공개번호/일자 10-2004-0049612 (2004.06.12) 문서열기
공고번호/일자 (20051122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.06)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한희 대한민국 충청남도서산시대
2 차승환 대한민국 인천광역시남동구
3 김재정 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 케이알이 주식회사 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2002-0406517-65
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2004-0020333-35
3 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2004.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-5090984-03
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.09.17 수리 (Accepted) 9-1-2004-0056811-41
6 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2004.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2004-5163245-71
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0537430-46
8 의견서
Written Opinion
2005.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0076099-88
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0269719-16
10 의견서
Written Opinion
2005.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0430873-15
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.08.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0430879-99
12 등록결정서
Decision to grant
2005.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0513042-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
TiN, TaN, TaSiN 및 TiAlN으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 이루어진 확산방지막 상에 유기금속 화학기상증착법으로 Ru 박막을 증착함에 있어서, 상기 Ru 박막을 증착하기 전에 상기 확산방지막을 팔라듐과 HF와 HCl의 혼합용액으로 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 Ru 박막 증착방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 팔라듐으로 활성화시키는 단계 전에, 상기 확산방지막의 표면에 형성된 산화물을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Ru 박막 증착방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 2항에 있어서, 상기 산화물을 제거하는 단계는, HF 용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 Ru 박막 증착방법
6 5
제 2항에 있어서, 상기 산화물을 제거하는 단계는, HF 용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 Ru 박막 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.