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플라스틱 용기(1)의 내벽에 DLC 코팅층(2)을 형성하기 위한 장치로서, 플라스틱 용기(1)를 수용할 수 있도록 분리 가능한 구조를 가지며 일부가 플라스틱 용기(1)의 외곽선에 상응하는 내벽 형상과 치수를 갖는 진공 유전체 밀폐부(110)와;상기 진공 유전체 밀폐부(110)의 또 다른 일부에 연결되어 진공 유전체 밀폐부(110)의 내부를 진공압 상태로 만들어주는 진공펌핑수단(120)과;상기 진공 유전체 밀폐부(110)의 주위로 배치된 나선형 RF 안테나(130)와;상기 RF 안테나(130)에서 RF 전류를 생성하도록 매칭 네트워크(141)를 통해 상기 RF 안테나(130)에 연결되어 전력을 인가하는 RF 전력공급원(140)과;플라스틱 용기(1)의 외곽선과 치수에 상응하는 외곽선과 치수를 가지면서 상기 진공 유전체 밀폐부(110) 내에서 플라스틱 용기의 외곽 주위를 따라 배치되고 상기 RF 안테나(130)에 의해 유도된 RF 전류에 대해 원주를 따라 회로 단락을 방지하기 위해 부속되는 분리 가능한 슬롯형 바이어스 전극(150)과;상기 바이어스 전극(150)에 대해 반복적인 전압 펄스를 인가하기 위한 것으로서, 펄스들의 극성이 네가티브인 펄스전원장치(160)와;플라스틱 용기(1)의 내부에 삽입되어 배치되고 홀(171)들을 통해 플라스틱 용기(1)의 내부로 탄화수소 전구체 가스를 공급하는 접지된 전도성 전극(170)과;상기 전도성 전극(170)에 연결되어 탄화수소 전구체 가스를 공급하는 가스공급장치(180);를 포함하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 진공 유전체 밀폐부(110)는 일부 영역이 투명한 유전체로 제조된 것을 특징으로 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 2에 있어서,상기 투명한 유전체는 석영, 유리, 아크릴(PMMA), 폴리이미드(PI), 및 폴리카보네이트(PC) 중 선택된 것임을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 바이어스 전극(150)은 일부가 플라스틱 용기(1)의 외벽에 접촉되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 바이어스 전극(150)은 열 전달이 가능하도록 통과하는 냉각 유체에 의해 냉각되는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 바이어스 전극(150)은 측벽에 하나 이상의 종방향 슬롯(151)을 가지면서 바닥면에는 하나 이상의 방사상 슬롯(152)을 가지는 구조이고,상기 슬롯(151,152)은 폭 a 003c# dsh/2를 가지되, 여기서 dsh는 상기 바이어스 전극(150)으로 네가티브 펄스 전압을 인가하는 경우에 플라스틱 용기(1)의 내벽 부근에 형성되는 시스(sheath)의 두께인 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 전도성 전극(170)은 플라스틱 용기(1)의 내부에서 용기 내부공간 부피의 50% 미만의 공간을 차지하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,내벽에 DLC 코팅층(2)을 갖는 플라스틱 용기(1)의 대량 생산을 위한 장치로서,진공 유전체 밀폐부(110), 진공펌핑수단(120), 나선형 RF 안테나(130), RF 전력공급원(140), 슬롯형 바이어스 전극(150), 펄스전원장치(160), 전도성 전극(170) 및 가스공급장치(180)의 구성을 갖는 두 개 이상의 DLC 코팅을 위한 장치(100)를 폐루프 형태로 배열하여 구비하되, 상기 RF 전력공급원(140)의 경우 RF 매칭 네트워크(matching network)(141)를 갖는 단일의 RF 전력공급원을 구비하고,각각의 상기 DLC 코팅을 위한 장치(100)를 구성하는 RF 안테나(130)들이 병렬로 연결되어 상기 단일의 RF 전력공급원(140)으로부터 전력을 공급받도록 구성된 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1에 있어서,상기 접지된 전도성 전극(170) 및 이와 연결된 가스공급장치(180)는 탄화수소 전구체 가스를 단독으로 공급하거나 탄화수소 전구체 가스와 불활성 지지 가스(innert support gas)를 함께 공급하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 9에 있어서,상기 탄화수소 전구체 가스는 톨루엔(C6H5CH3), 아세틸렌(C2H2), 벤젠(C6H6), n-헥산(C6H14), p-크실렌(C8H10), 및 시클로헥산(C6H2) 중 선택된 것임을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 장치
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청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항의 DLC 코팅을 위한 장치를 이용하여 플라스틱 용기의 내벽에 대해 DLC 코팅을 수행하는 방법으로서,a) 플라스틱 용기를 진공 유전체 밀폐부의 내부에 배치하되, 상기 진공 유전체 밀폐부 내에서 플라스틱 용기의 외곽 주위에 슬롯형 바이어스 전극이 배치되도록 한 뒤 진공 유전체 밀폐부의 내부를 밀폐하는 단계와; b) 접지된 전도성 전극을 플라스틱 용기의 내부로 삽입하여 배치하는 단계와;c) 상기 진공 유전체 밀폐부의 일측에 연결된 진공펌핑수단을 이용하여 진공 유전체 밀폐부의 내부를 진공압 상태로 만들어주는 단계와;d) 가스공급장치를 이용하여 상기 전도성 전극을 통해 탄화수소 전구체 가스를 플라스틱 용기의 내부로 공급하는 단계와;e) RF 전력공급원으로부터 매칭 네트워크를 통해 상기 진공 유전체 밀폐부 주위로 배치된 나선형 RF 안테나에 전력을 인가하여 플라스틱 용기의 내부에서 용량 결합 플라즈마를 점화시키는 단계와; f) 펄스전원장치를 이용하여 상기 바이어스 전극에 반복적인 네가티브 전압 펄스를 인가하는 단계;를 포함하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 방법
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청구항 11에 있어서,상기 c) 단계에서 진공 유전체 밀폐부의 내부를 10-4 Torr 이하의 진공압 상태로 만들어주는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 방법
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청구항 11에 있어서,상기 d) 단계에서 플라스틱 용기 내의 공정압력을 얻기 위해 탄화수소 전구체 가스를 단독으로 공급하거나 탄화수소 전구체 가스와 불활성 지지 가스(innert support gas)를 함께 공급하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 방법
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청구항 13에 있어서,상기 탄화수소 전구체 가스는 톨루엔(C6H5CH3), 아세틸렌(C2H2), 벤젠(C6H6), n-헥산(C6H14), p-크실렌(C8H10), 및 시클로헥산(C6H2) 중 선택된 것임을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 방법
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청구항 13에 있어서,상기 플라스틱 용기 내의 공정압력은 0
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청구항 11에 있어서,상기 f) 단계에서 0
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청구항 11에 있어서,상기 f) 단계에서 0
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18
청구항 11에 있어서,내벽에 DLC 코팅층을 갖는 플라스틱 용기의 대량 생산을 위한 방법으로서,두 개 이상의 DLC 코팅을 위한 장치를 폐루프 형태로 배열하여 구비하되, 상기 RF 전력공급원의 경우 RF 매칭 네트워크(matching network)를 갖는 단일의 RF 전력공급원을 구비하고,각각의 상기 DLC 코팅을 위한 장치를 구성하는 RF 안테나들이 병렬로 연결되어 상기 단일의 RF 전력공급원으로부터 전력을 공급받도록 하며,코팅되지 않은 플라스틱 용기들을 각각의 DLC 코팅을 위한 장치에 연속적으로 공급하는 단계와;상기 플라스틱 용기들을 각각의 DLC 코팅을 위한 장치 내로 하나씩 로딩하는 단계와; 각각의 DLC 코팅을 위한 장치에서 청구항 11에 따른 과정을 진행하여 각각의 플라스틱 용기에 대해 DLC 코팅을 수행하는 단계;를 진행하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 용기의 DLC 코팅을 위한 방법
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청구항 11의 방법에 따라 제조되는 장벽 DLC 코팅층을 갖는 회수 가능한 플라스틱 용기로서, 상기 DLC 코팅층은 5 GPa ~ 30 GPa 범위의 나노경도를 가지며, 5 nm ~ 5000 nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 회수 가능한 플라스틱 용기
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청구항 19에 있어서,폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)로 제조되어 상기 장벽 DLC 코팅층을 가지는 것을 특징으로 하는 회수 가능한 플라스틱 용기
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