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2원화 복합 동시 박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2014012098
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스파터링 증착과 진공증발 증착을 동시에 할 수 있는 복합 동시 박막 증착 장치에 관한 것으로, 특히 내부에 기판이 제공된 반응챔버와, 상기 반응챔버 내부에 상기 기판에 대향되게 형성되어 상기 기판 상측에 금속박막을 증착하기 위한 스파터 장치 및 증발장치가 동시에 구비되어 작동되는 복합 동시 박막 증착 장치에 있어서, 상기 스파터 장치에 장착된 금속물질 타겟을 스파터링시키는 불활성 가스를 상기 반응챔버 내부로 공급시키는 가스공급부와, 상기 증발장치에 제공된 금속물질의 증기를 증발시키는 증발장치가 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 따라 증발장치에 제공된 금속물질의 증기와 금속물질 타겟을 스파터링시키는 불활성 가스의 공급경로가 2원화되게 형성되어, 불활성 가스와 증발가스의 증기압이 서로 간에 영향이 최소화되도록 하여 스파터링 가스의 증착 경로를 막지 않으면서 불활성 가스의 적절한 증기압으로 인해 스파터링이 원활하게 이루어지며, 증발가스의 증기압의 조절이 용이하게 이루어져, 스파터 장치 및 증발장치가 복합적으로 형성되어 동시 작동됨으로써 안정적인 조성의 물질을 얻을 수 있는 이점이 있다.2원화 ESSD 스파터 증발 불활성 마그네슘 보론 초전도 MgB2
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01) C23C 14/22(2013.01)
출원번호/일자 1020060080440 (2006.08.24)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0772009-0000 (2007.10.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071031) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.08.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호섭 대한민국 경상남도 김해시
2 송규정 대한민국 서울특별시 양천구
3 김태형 대한민국 경상북도 구미시
4 오상수 대한민국 경상남도 창원시
5 하홍수 대한민국 경상남도 창원시
6 하동우 대한민국 경상남도 창원시
7 고락길 대한민국 경상남도 창원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0605568-99
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0028416-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0375548-83
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0655147-21
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0655118-18
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0555274-45
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
1 1
내부에 기판이 제공된 반응챔버와, 상기 반응챔버 내부에 상기 기판에 대향되게 형성되어 상기 기판 상측에 금속박막을 증착하기 위한 스파터 장치 및 증발장치가 동시에 구비되어 작동되는 복합 동시 박막 증착 장치에 있어서,상기 스파터 장치에 장착된 금속물질 타겟을 스파터링시키는 불활성 가스를 상기 반응챔버 내부로 공급시키는 가스공급부와, 상기 증발장치에 제공된 금속물질의 증기를 증발시키는 증발장치가 이격되어 형성되되, 상기 가스공급부는 외부에서 공급된 불활성 가스를 반응재를 이용하여 필터링 시키는 필터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 가스공급부는,상기 반응챔버 내부와 연통되게 형성된 가스유입구와;상기 가스유입구와 연통되며, 내부로 불활성 가스가 이동되는 가이드로와;상기 가이드로 내부를 가열시켜 상기 필터링된 불활성 가스를 가속시키고 상기 반응재를 액화시키는 히터와;상기 가이드로 내부에 형성되며 필터링된 불활성 가스의 이동되는 경로상에 형성되어, 상기 필터의 반응재 가스를 액화시키는 냉각판;을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 필터의 반응재는 상기 금속박막을 이루는 조성물을 포함하거나, 불활성 가스에 포함된 산소와 반응하는 물질인 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 필터의 반응재가 금속박막을 이루는 조성물인 경우에는 조성물에 따라 순차적으로 불활성 가스가 필터링되는 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 증발장치는,외측으로 증발가속수단이 형성되는 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
6 6
제 1항 내지 제 5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 증발장치는,상측에 기판 방향으로 연장되게 증발가이드가 더 형성된 것을 특징으로 하는 2원화 복합 동시 박막 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.