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레이저를 빔스플리터로 분광한 제1광과 제2광을 생성하여,상기 제1광을 제1광학계를 이용해 THz파 검출 수단으로 입사하고,상기 제2광은 제1주파수로 광변조하고, 광변조된 광을 광지연기에 의해 지연하며, 지연된 광을 제2주파수의 전기적 신호로 바이어스된 THz파 발생 소자에 입사하여 THz파를 생성한 후, 제2광학계를 통해 측정 대상 시료를 통과하는 상기 THz파를 상기 THz파 검출 수단으로 입사해,상기 광지연기에 구비된 직각 미러와 다른 미러 간의 거리 조절로 상기 광지연기에서의 광지연값의 조절에 따른 상기 THz 검출 수단에서 출사되는 THz파를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기의 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 제1주파수 및 상기 제2주파수는 50~200 kHz 범위에 속하며, 상기 제1주파수와 상기 제2주파수는 서로 다른 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기의 측정 방법
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레이저를 분광하여 제1광과 제2광을 생성하는 빔스플리터;THz파 검출 수단;상기 제1광을 상기 THz파 검출 수단로 입사하기 위한 제1광학계;상기 제2광을 제1주파수로 광변조하는 변조기;광변조된 상기 광을 지연하는 광지연기;제2주파수의 전기적 신호로 바이어스되며, 지연된 상기 광의 입사에 대해 해당 THz파를 생성하는 THz파 발생 소자; 측정 대상 시료를 장착하기 위한 공간을 구비하고, 상기 시료를 통과하는 상기 THz파를 상기 THz파 검출 수단으로 입사하기 위한 제2광학계; 및상기 THz파 검출 수단에서 출사되는 THz파의 변화를 측정하기 위한 측정장치를 포함하고,상기 광지연기에 구비된 직각 미러와 다른 미러 간의 거리 조절로 상기 광지연기에서의 광지연값의 조절에 따른 상기 THz파 검출 수단에서 출사되는 THz파를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기
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제3항에 있어서,상기 제1주파수 및 상기 제2주파수의 차이는 1~150kHz인 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기
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제3항에 있어서,초음파 피에조를 이용한 모터를 이용해 상기 직각 미러의 상기 다른 미러와의 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기
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제3항에 있어서,상기 측정장치는, ZnTe 결정을 이용해 상기 THz파 검출 수단에서 출사되는 광을 편광하고 사분 파장판을 이용해 다시 편광하며, 상기 ZnTe 결정과 상기 사분 파장판을 통과한 광을 소정 프리즘을 이용해 분리하여 광검출기를 이용해 전기적 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기
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제3항에 있어서,상기 제1주파수와 상기 제2주파수의 전기적 신호를 합성하는 주파수 합성기;상기 주파수 합성기의 합성 신호를 필터링하여 상기 제1주파수와 상기 제2주파수의 차이에 해당하는 주파수의 기준 신호를 추출하는 로우 패스 필터; 및상기 광지연기에서의 광지연값의 조절 시간에 따라, 상기 기준 신호를 기초로 상기 측정장치가 측정하여 검출한 전기적 신호를 증폭해 상기 시료의 광학적 특성 분석용 전기적 신호를 출력하는 락-인 앰프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시간 영역 분광기
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