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동시증발법에서 QCM을 이용한 조성비 측정방법

  • 기술번호 : KST2015164043
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 동시증발법을 이용한 초전도선재의 제조장치 내부에 QCM을 설치하여 초전도선재의 초전도층을 이루는 원료물질의 조성비를 측정할 수 있는 동시증발법에서 QCM을 이용한 조성비 측정방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 기판이 감겨져 회전하는 드럼을 포함하는 반응챔버와, 상기 드럼의 길이방향에 수직하게 배치되어 상기 기판에 초전도층을 형성하기 위한 원료물질을 증발시키는 다수개의 도가니를 포함하는 증착챔버와, 상기 반응챔버와 증착챔버 사이에 설치되며 개폐가능한 개구부가 형성된 실드를 이용한 동시증발법에서 각각의 도가니 상부에 QCM을 설치하여 원료물질의 증착률을 측정하는 방법에 있어서, 상기 개구부가 폐쇄된 상태에서 각각의 도가니를 가열하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제1 단계; 상기 개구부를 개방하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제2 단계; 상기 개구부를 폐쇄하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제3 단계; 및, 상기 각 단계별로 측정된 원료물질 각각의 증착률과 소모 질량의 비례관계를 이용하여 상기 제2 단계에서 각 원료물질별 소모 질량을 산출하고, 산출된 소모 질량으로 각 원료물질별 원자수를 환산하여 상기 초전도층의 조성비를 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/52 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01)
CPC C23C 14/546(2013.01) C23C 14/546(2013.01) C23C 14/546(2013.01) C23C 14/546(2013.01) C23C 14/546(2013.01)
출원번호/일자 1020130127776 (2013.10.25)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0047822 (2015.05.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.25)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호섭 대한민국 경상남도 김해시
2 하동우 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 고락길 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 성기철 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 오상수 대한민국 경상남도 김해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0968190-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0067694-98
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0087185-56
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0336047-92
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0432131-59
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-0543413-00
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0653579-61
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0653544-74
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0673623-98
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번호 청구항
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기판이 감겨져 회전하는 드럼(110)을 포함하는 반응챔버(100)와, 상기 드럼(110)의 길이방향에 수직하게 배치되어 상기 기판에 초전도층을 형성하기 위한 원료물질을 증발시키는 다수개의 도가니(210)를 포함하는 증착챔버(200)와, 상기 반응챔버(100)와 증착챔버(200) 사이에 설치되며 개폐가능한 개구부(310)가 형성된 실드(300)를 이용한 동시증발법에서 각각의 도가니(210) 상부에 QCM(400)을 설치하여 원료물질의 증착률을 측정하는 방법에 있어서,상기 개구부(310)가 폐쇄된 상태에서 각각의 도가니(210)를 가열하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제1 단계;상기 개구부(310)를 개방하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제2 단계;상기 개구부(310)를 폐쇄하여 원료물질의 증착률을 측정하는 제3 단계; 및,상기 각 단계별로 측정된 원료물질 각각의 증착률과 소모 질량의 비례관계를 이용하여 상기 제2 단계에서 각 원료물질별 소모 질량을 산출하고, 산출된 소모 질량으로 각 원료물질별 원자수를 환산하여 상기 초전도층의 조성비를 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 동시증발법에서 QCM을 이용한 조성비 측정방법
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