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진공펌프와 연결되어 내부에 진공이 되게 하는 증착챔버;상기 증착챔버 내부에 구비되어 고온 초전도체 물질을 방출하는 초전도 물질 공급부;상기 증착챔버 상부에 일부 연통되게 구비되고, 내부에는 기판이 감긴 드럼이 회전되게 구비되어 상기 드럼의 회전에 의해 상기 기판이 상기 증착챔버측으로 노출되어 상기 초전도 물질 공급부에 의해 증착된 기판이 열처리되는 반응챔버; 및상기 반응챔버 내부에 스퍼터링 건이 구비되어 상기 기판에 자속고정점 물질을 스퍼터링 증착하게 하는 자속고정점 공급부;가 포함된 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 자속고정점 공급부는,상기 증착챔버 외부에서 내부로 아르곤 가스가 공급되게 하는 아르곤 유입관과, 상기 유입관의 배출구와 인접한 면에 스퍼터링 증착을 부여하는 타켓으로 구성된 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 고온 초전도층 물질은,Sm, Ba, Cu 인 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 자속고정점 물질은,Hf, Zr, BaZrO3, MgO 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 자속고정점 공급부의 스퍼터링은,DC 스퍼터링, 펄스드 DC 스퍼터링, RF 스퍼터링 중 어느 하나로 스퍼터링 하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 드럼과 상기 초전도 물질 공급부 사이 및 상기 드럼 상기 자속고정점 공급부 사이 각각 에는 셔터가 구비되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 반응챔버에는 상기 반응챔버 내부에 일정량의 산소를 공급 가능하게 하는 산소공급부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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제1항에 있어서,상기 반응챔버와 상기 증착챔버 사이에 증착 환경을 분리 시키는 분리챔버가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 증착법을 이용한 EDDC 자속고정점 형성 장치
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