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와이어 형상 또는 테이프 형상의 기판에 박막을 증착하기 위한 박막 증착장치에 있어서,
기판이 풀림되는 공급릴과; 제1챔버와; 상기 제1챔버와 공간적으로 연결된 제2챔버와; 상기 공급릴에서 풀림된 후, 상기 제1챔버 및 제2챔버를 거쳐서 이송되는 기판이 감겨지는 수거릴과; 상기 제1챔버에 형성되고 타겟 물질을 스퍼터링시켜 이송되는 기판에 증착물질을 증착시키는 스퍼터 장치와; 상기 제2챔버에 형성되고, 증착물질을 증발시켜 상기 스퍼터 장치측에서 이송된 기판에 증착물질을 확산 반응시키는 증발장치;를 포함하여 구성되되,
상기 증발장치는,
내부에 이송되는 기판이 수용되고, 증기압을 유지시키는 하우징과; 상기 하우징 내부에 형성되고 증발물질이 수용되는 증발도가니; 그리고, 상기 기판을 가열시키는 히터;를 포함하여 구성됨을 특징을 하는 박막선재 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 제1챔버와 제2챔버 사이에는 연결챔버가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 연결챔버에는 상기 기판을 안내시키는 가이드롤러가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제3항에 있어서, 상기 제1챔버와 제2챔버는 별개로 진공 배기됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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5
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1챔버에는 상기 기판을 가열시키는 히터가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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6
제5항에 있어서, 상기 히터는 기판의 이송에 방해되지 않게 유도가열방식 히터로 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제 5항에 있어서, 상기 스퍼터 장치는,
이송 기판의 노출된 표면에 균일하게 스퍼터링 증착이 이루어질 수 있도록, 이송 기판을 중심으로 상하 수직 혹은 좌우 평면으로 2개의 스퍼터링 건들이 배치되는 것을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 히터는 상기 기판 라인에 평행하게 반구 형태로 구성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제9항에 있어서, 상기 증발도가니에는 증발도가니에 수용된 증발물질을 가열시키는 히터가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제5항에 있어서, 상기 제1챔버에는,
상기 스퍼터 장치와 이격 되게 형성되고, 증발물질을 증발시켜 기판에 증발 증착시키는 보조 증발장치가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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제11항에 있어서, 상기 보조 증발장치는,
내부에 이송기판이 수용되고, 원통형상으로 형성되어 증기압을 유지시키는 박스와;
상기 박스 내부에 형성되고, 증발물질이 수용된 증발도가니와;
상기 박스를 감싸는 형상으로 형성된 히터;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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13
제 5항에 있어서, 상기 증발장치의 히터는,
상기 하우징을 감싸는 형태로 형성된 유도가열방식 또는 저항방식 히터임을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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14
제5항에 있어서, 상기 증발장치의 히터는,
기판의 이송에 방해되지 않게 유도가열방식으로 형성된 히터임을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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15
제14항에 있어서, 상기 증발도가니는, 좌우로 한 쌍이 이격 형성되고, 내측 상면에 증발물질이 분사되는 분사구가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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16
제14항에 있어서, 상기 증발도가니는 상하로 한 쌍이 이격 형성되고, 기판에 인접한 측에 증발물질이 분사되는 분사구가 형성됨을 특징으로 하는 박막선재 제조장치
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