맞춤기술찾기

이전대상기술

레이저 가공 시편 틸트 보상 장치

  • 기술번호 : KST2015165305
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 레이저 가공 시편 틸트 보상 장치는 가공 시편(2)으로 레이저 빔을 주사하는 레이저 빔 소스(10)와, 이 레이저 빔 소스(10)로부터 주사된 레이저 빔을 가공 시편(2)상에 포커싱시키는 제 1 포커싱 렌즈(20)와, 상기 가공 시편(2)으로부터 반사된 레이저 빔이 포커싱됨에 따라 가공 시편(2)의 틸트상태를 검출하는 위치 검출 센서, 즉 PSD 센서(position sensitive detector)(30)와, 가공 시편(2)으로부터 반사되는 레이저 빔의 경로를 상기 위치 검출 센서로 변환하는 빔 스플리터(40)와, 이 빔 스플리터(40)에 의해 경로가 변환된 반사 레이저 빔을 상기 위치 검출 센서(30)상에 포커싱시키는 제 2 포커싱 렌즈(50)를 포함하여, 가공 시편(2)이 X축과 Y축으로 회전각 θ,φ 만큼의 틸트가 있는 경우, 가공 시편(2)에서 반사된 레이저 빔은 제 1 포커싱 렌즈(20)를 지나, 빔 스플리터(40)에서 반사되고, 이 빔 스플리터(40)에서 반사된 레이저 빔은 제 2 포커싱 렌즈(50)를 지나 PSD 센서(30)의 X축과 Y축상의 지점에 포커싱이 된다. 이와 같이 PSD 센서(30)에서의 측정 전압이 0V 가 되도록 모션 콘트롤러를 통해 전동식 틸팅 회전 스테이지가 틸팅된 회전각 θ,φ 으로 회전하여 가공 시편(2)의 틸팅을 보상하게 됨에 따라, 설계와 가공상의 오차를 최대로 줄일 수 있는 효과를 가진다.
Int. CL G01B 11/00 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC G01B 11/26(2013.01) G01B 11/26(2013.01) G01B 11/26(2013.01) G01B 11/26(2013.01)
출원번호/일자 1020070088469 (2007.08.31)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자 10-0927639-0000 (2009.11.12)
공개번호/일자 10-2009-0022825 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20091120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.31)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김상인 대한민국 경기 용인시 처인구
2 김호상 대한민국 경기 용인시 수지구
3 이광일 대한민국 경북 영천시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2007-0637300-00
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0638406-19
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0638485-05
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0043422-38
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0086996-92
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0252386-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0252387-55
9 등록결정서
Decision to grant
2009.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0356761-81
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.03.23 수리 (Accepted) 4-1-2010-5049999-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가공 시편과, 레이저 빔을 상기 가공 시편으로 주사하는 레이저 빔 소스와, 상기 레이저 빔 소스로부터 주사된 레이저 빔을 가공 시편상에 포커싱시키는 제 1 포커싱 렌즈와, 상기 가공 시편으로부터 반사된 레이저 빔으로 포커싱됨에 따라 상기 가공 시편의 틸트상태를 검출하는 위치 검출 센서와, 상기 가공 시편으로부터 반사되는 레이저 빔의 의 경로를 상기 위치 검출 센서로 변환하는 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터에 의해 경로가 변환된 반사 레이저 빔을 상기 위치 검출 센서상에 포커싱시키는 제 2 포커싱 렌즈와, 상기 위치 검출 센서에 포커싱되는 반사 레이저 빔이 X축과 Y축으로 이송됨에 따라 측정되는 전압을 이용하여 상기 가공 시편의 틸팅을 보상하는 보상 수단을 포함하되, 상기 위치 검출 센서는 PSD 센서이고, 상기 보상 수단은 가공 시편이 재치되는 전동식 틸팅 회전 스테이지와, 상기 위치 검출 센서에 의해 측정된 전압이 0V가 되도록 상기 전동식 틸팅 회전 스테이지를 틸팅 각도만큼 회전하도록 제어하는 모션 콘트롤러로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 가공 시편 틸트 보상 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 (사)고등기술연구원 핵심연구개발사업 첨단레이저 응용을 위한 고효율 광제어 및 시스템 요소기술개발