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플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치

  • 기술번호 : KST2015166808
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 플러렌 다량체를 이용한 박막증착 장치는, 내부를 진공상태로 유지하는 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 설치되며, 상부에 플러렌 분자가 유출될 수 있는 플러렌 단량체 분말 유출구가 형성된 분말확산용기; 상기 분말확산용기의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도조절부; 상기 분말확산용기로부터 외부로 유출되는 플러렌 단량체 분자가 전자빔에 의해 플러렌 다량체로 유도되고, 상기 플러렌 다량체를 다수의 기판에 증착하여 박막을 형성하도록 하는 기판홀더; 상기 진공챔버의 측면에 설치되어 상기 전자빔을 생성하여 상기 플러렌 단량체 분자에 조사하는 전자빔 발생부; 및 상기 전자빔에 의해 유도된 플러렌 다량체를 포집하기 위한 포집부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/48 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01)
CPC C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01)
출원번호/일자 1020110023779 (2011.03.17)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0105987 (2012.09.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안정선 대한민국 서울특별시 동대문구
2 여승준 대한민국 서울특별시 서초구
3 차정옥 대한민국 서울특별시 양천구
4 박소라 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세중 대한민국 서울시 강남구 테헤란로 ***, **** (역삼동. 성지하이츠 Ⅱ)(해오름국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0194797-70
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0088791-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0073885-56
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0281085-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0281087-60
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0540977-80
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부를 진공상태로 유지하는 진공챔버;상기 진공챔버 내부에 설치되며, 상부에 플러렌 분자가 유출될 수 있는 플러렌 단량체 분말 유출구가 형성된 분말확산용기;상기 분말확산용기의 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도조절부;상기 분말확산용기로부터 외부로 유출되는 플러렌 단량체 분자가 전자빔에 의해 플러렌 다량체로 유도되고, 상기 플러렌 다량체를 다수의 기판에 증착하여 박막을 형성하도록 하는 기판홀더;상기 진공챔버의 측면에 설치되어 상기 전자빔을 생성하여 상기 플러렌 단량체 분자에 조사하는 전자빔 발생부; 및상기 전자빔에 의해 유도된 플러렌 다량체를 포집하기 위한 포집부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
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제1항에 있어서,상기 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치는 상기 분말확산용기와 상기 기판홀더 사이에 구비되어 상기 기판홀더를 지지하며, 상기 기판홀더의 높낮이를 조절하는 스탠드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
3 3
제2항에 있어서,상기 기판홀더의 높낮이 조절은 스탠드에 형성된 스크류 나사산에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판홀더는,다수의 기판; 상기 다수의 기판의 설치 높이와 동일하게 형성되어 상기 다수의 기판에 증착된 박막의 두께를 측정하는 두께 측정부; 및상기 두께 측정부에서 측정된 데이터를 외부 모니터로 전송하는 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
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제4항에 있어서,상기 다수의 기판은 동시에 증착되는 박막의 두께가 균일해지도록 일정한 거리를 갖는 원형의 형태로 기판홀더에 배치되는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
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제4항에 있어서,상기 기판홀더는상기 기판홀더의 상부에 구비되어, 상기 다량체의 폴러렌이 기판홀더 이외의 다른 부위에 붙어 오염되는 것을 최소화하는 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플러렌 다량체를 이용한 박막 증착장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.