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다수의 관통홀을 포함하는 대상 기판을 준비하는 단계;상기 대상 기판의 일면에 물을 공급하여 적층하는 단계;상기 대상 기판의 일면에 적층된 상기 물 위에 그래핀 박막층 및 그래핀 코팅층으로 형성된 그래핀 복합층을 증착하는 단계;상기 물에 압력을 가해 상기 관통홀을 통해 상기 물을 상기 대상 기판으로부터 탈수하여 상기 그래핀 복합층을 상기 대상 기판의 관통홀로 사출하는 단계;상기 그래핀 복합층에서 상기 그래핀 코팅층을 제거하는 단계; 및상기 그래핀 코팅층이 제거된 상기 그래핀 박막층 위에 기능성 물질을 증착하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 1항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 물에 열을 가해 상기 물을 상기 대상 기판으로부터 제거하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 1항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 그래핀 복합층을 기체로 가압하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 1항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 그래핀 복합층이 상기 대상 기판의 관통홀을 통과하여 캐비티(cavity)를 형성하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 6항에 있어서,상기 캐비티는, 일단이 뽀족한 팁 형상이거나, 또는 둥근 타원 형상인, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 1항에 있어서,상기 그래핀 코팅층을 제거하는 단계는, 상기 그래핀 코팅층을 화학처리 또는 열처리하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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지지 기판 위에 다수의 관통홀을 포함하는 제1 대상 기판을 준비하는 단계;상기 제1 대상 기판의 일면에 물을 공급하여 적층하는 단계;상기 제1 대상 기판에 적층된 물 위에 그래핀 박막층 및 그래핀 코팅층으로 형성된 그래핀 복합층을 증착하는 단계;상기 지지 기판을 이동시켜, 상기 관통홀을 통해 물을 흐르게 하여 상기 그래핀 복합층을 상기 제1 대상 기판의 관통홀로 사출하는 단계;상기 그래핀 복합층에서 상기 그래핀 코팅층을 제거하는 단계; 및상기 그래핀 코팅층이 제거된 상기 그래핀 박막층 위에 기능성 물질을 증착하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 10항에 있어서,상기 지지 기판은, 다수의 관통홀을 포함하는 제2 대상 기판인, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 11항에 있어서,상기 물을 공급하여 적층하는 단계는, 상기 제1 및 제2 대상 기판에 물을 공급하여 적층하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 12항에 있어서,상기 그래핀 복합층을 증착하는 단계는, 상기 제1 및 제2 대상 기판에 적층된 물 위에 그래핀 박막층 및 그래핀 코팅층으로 형성된 그래핀 복합층을 증착하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 13항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 제1 및 제2 대상 기판 중 적어도 하나를 이동시켜, 제1 및 제2 대상 기판의 관통홀을 통해 물을 흐르게 하여 상기 그래핀 복합층을 상기 제1 및 제2 대상 기판의 관통홀로 사출하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 10항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 지지 기판을 상하로 이동시키는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 10항에 있어서,상기 관통홀로 사출하는 단계는, 상기 그래핀 복합층이 상기 대상 기판의 관통홀을 통과하여 캐비티(cavity)를 형성하는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 16항에 있어서,상기 캐비티는, 일단이 뽀족한 팁 형상이거나, 또는 둥근 타원 형상인, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 10항에 있어서,상기 그래핀 코팅층은 소수성(hydrophobic) 물질로 이루어진 코팅층인, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 1항, 제 4항 내지 제 8항, 제 10항 내지 제 17항, 및 제 19항 중 어느 한 항의 방법에 의해서 제조되며, 상기 관통홀을 통과하여 형성되는 그래핀 캐비티를 포함하는 패턴 기판;상기 패턴 기판에 전압을 가하는 전원; 및상기 전원과 패턴 기판 사이를 연결하는 스위치를 포함하는, 전자 소자
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제 20항에 있어서,상기 패턴 기판은, 상기 스위치의 ON에 의해 상기 그래핀 캐비티가 팽창되며, 상기 스위치의 OFF에 의해 상기 그래핀 캐비티가 수축되는, 전자 소자
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제 21항에 있어서,상기 패턴 기판은, 상기 팽창에 의해 유체가 상기 그래핀 캐비티로 유입되며, 상기 수축에 의해 유체가 상기 그래핀 캐비티에서 유출되는, 전자 소자
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제 20항에 있어서,상기 패턴 기판의 일측에 배치되어 상기 그래핀 캐비티에 의해 개폐되는 유체 주입구를 더 포함하는, 전자 소자
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제 23항에 있어서,상기 유체 주입구는, 상기 스위치의 ON에 의해 상기 그래핀 캐비티가 팽창되어 입구가 폐쇄되고, 상기 스위치의 OFF에 의해 상기 그래핀 캐비티가 수축되어 입구가 개방되는, 전자 소자
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제 1항, 제 4항 내지 제 8항, 제 10항 내지 제 17항, 및 제 19항 중 어느 한 항의 방법에 의해서 제조되며, 상기 관통홀을 통과하여 형성되는 그래핀 캐비티를 포함하는 패턴 기판;상기 패턴 기판에 자기장을 가하는 자기장 인가부;상기 패턴 기판의 그래핀 캐비티 각각에 전압을 가하는 복수의 전원; 및상기 그래핀 캐비티 각각과 각 전원 사이를 연결하는 복수의 스위치를 포함하며,상기 패턴 기판은, 상기 관통홀 사이의 일면에 증착된 그래핀이 제거되어 각 그래핀 캐비티가 인접 그래핀 캐비티와 단속되고,상기 각 그래핀 캐비티는 내부에 스핀을 가진 입자를 적어도 하나 포함하는, 양자 소자
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다수의 관통홀을 포함하는 한 쌍의 대상 기판을 준비하는 단계;상기 한 쌍의 대상 기판 사이를 부도체층으로 연결하여 내부 공간을 형성하는 단계;상기 내부 공간에 물을 공급하는 단계;상기 한 쌍의 대상 기판에 그래핀 박막층 및 그래핀 코팅층으로 형성된 그래핀 복합층을 증착하는 단계;상기 내부 공간 내의 물을 외부로 흐르게 하여 상기 그래핀 복합층을 상기 한 쌍의 대상 기판의 관통홀로 사출하는 단계;상기 그래핀 복합층에서 상기 그래핀 코팅층을 제거하는 단계; 및상기 관통홀 사이의 일면에 증착된 그래핀이 제거되어 각 그래핀 캐비티가 인접 그래핀 캐비티와 단속되는 단계를 포함하는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 26항에 있어서,상기 한 쌍의 대상 기판은, 각 관통홀이 지그재그로 배치되는, 그래핀 패턴 형성 방법
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제 26항 또는 제 27항 중 어느 한 항의 방법에 의해서 제조되며, 상기 각 그래핀 캐비티의 내부에 스핀을 가진 입자를 적어도 하나 포함하는 한 쌍의 패턴 기판;상기 패턴 기판에 자기장을 가하는 자기장 인가부;상기 패턴 기판의 그래핀 캐비티 각각에 전압을 가하는 복수의 전원; 및상기 그래핀 캐비티 각각과 각 전원 사이를 연결하는 복수의 스위치를 포함하는, 양자 소자
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제 28항에 있어서,상기 한 쌍의 패턴 기판은, 상기 각 그래핀 캐비티에 포함되는 입자가 서로 상이한, 양자 소자
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