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플렉서블 소자의 제조 방법 및 플렉서블 표시 장치의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015169927
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 모체 기판 상에 박리층을 형성하는 단계와, 상기 박리층 상에 금속막을 형성하는 단계와, 상기 금속막 상에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층 상에 반도체 소자층을 형성하는 단계와, 상기 반도체 소자층에 플렉서블 기판을 접합시키는 단계 및 상기 박리층의 상하 계면 중 적어도 일면을 분리하여 상기 모체 기판을 제거하는 단계를 포함하는 플렉서블 소자의 제조 방법 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.이와 같은, 본 발명은 유리 기판을 사용하는 기존의 공정 설비를 그대로 활용할 수 있기 때문에 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 플라스틱 기판보다 공정 온도의 제약이 없는 유리 기판을 사용하기 때문에 우수한 성능의 전기 소자를 제작할 수 있다. 또한, 플라스틱 기판보다 열적·화학적 안정성이 우수한 유리 기판을 사용하여 변형이 적기 때문에 기판 정렬과 같은 공정 제어가 용이하다.박리막, 플렉서블, 플라스틱, 발광 소자, 계면 분리, 표시 장치.
Int. CL H05B 33/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070044171 (2007.05.07)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0890250-0000 (2009.03.17)
공개번호/일자 10-2008-0065210 (2008.07.11) 문서열기
공고번호/일자 (20090324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020070002084   |   2007.01.08
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.07)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종람 대한민국 경북 포항시 남구
2 김수영 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0339028-73
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0193977-77
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0408980-45
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.06.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0408979-09
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2008.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0484371-67
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.11.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0798901-40
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0798895-53
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0080006-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모체 기판 상에 박리층을 형성하는 단계;상기 박리층 상에 금속막을 형성하는 단계;상기 금속막 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 반도체 소자층을 형성하는 단계;상기 반도체 소자층에 플렉서블 기판을 접합시키는 단계; 및상기 박리층의 상하 계면 중 적어도 일면을 분리하여 상기 모체 기판을 제거하는 단계; 를 포함하는 플렉서블 소자의 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 박리층은 MgO, MnO, Mn3O4, MoOy, SnO2, SeOx, SiOx, GaOx, InO, TixOy, VxOy, ZrOy, WOy, Al2O3, SrO, TexOy, TeO2, ZnO, ITO, IZO, SiN, TiN, TaN, AlN, BN, MO2N, VN, ZrN, NbN, CrN, Ga 중 적어도 하나로 형성하는 플렉서블 소자의 제조 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 박리층은 적어도 1nm 이상의 두께로 형성하는 플렉서블 소자의 제조 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 금속막은 Ag, Au, Cu, Cr, W, Al, W, Mo, Zn, Ni, Pt, Pd, Co, In
5 5
청구항 4에 있어서,상기 금속막은 적어도 1nm 이상의 두께로 형성하는 플렉서블 소자의 제조 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 절연층은 산화 실리콘(SiO2), 질화 실리콘(SiNx), 포토레지스트, 폴리이미드 중 적어도 하나를 포함하는 절연체로 형성하는 플렉서블 소자의 제조 방법
7 7
청구항 1에 있어서,상기 반도체 소자층은 유기 발광 다이오드, 유기 전계 트랜지스터 중 적어도 하나를 포함하는 플렉서블 소자의 제조 방법
8 8
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 모체 기판은 유리 기판을 사용하는 플렉서블 소자의 제조 방법
9 9
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 플라스틱 기판을 사용하는 플렉서블 소자의 제조 방법
10 10
반도체 소자층의 발광 소자가 단위 화소로 기능하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 모체 기판 상에 박리층을 형성하는 단계;상기 박리층 상에 금속막을 형성하는 단계;상기 금속막 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 발광 소자를 포함하는 반도체 소자층을 형성하는 단계;상기 반도체 소자층 상에 플렉서블 기판을 접합시키는 단계; 및상기 박리층의 상하 계면 중 적어도 일면을 분리하여 상기 모체 기판을 제거하는 단계; 를 포함하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
11 11
청구항 10에 있어서,상기 박리층은 MgO, MnO, Mn3O4, MoOy, SnO2, SeOx, SiOx, GaOx, InO, TixOy, VxOy, ZrOy, WOy, Al2O3, SrO, TexOy, TeO2, ZnO, ITO, IZO, SiN, TiN, TaN, AlN, BN, MO2N, VN, ZrN, NbN, CrN, Ga 중 적어도 하나로 형성하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
12 12
청구항 10에 있어서,상기 금속막은 Ag, Au, Cu, Cr, W, Al, W, Mo, Zn, Ni, Pt, Pd, Co, In
13 13
청구항 10에 있어서,상기 절연층은 산화 실리콘(SiO2), 질화 실리콘(SiNx), 포토레지스트, 폴리이미드 중 적어도 하나를 포함하는 절연체로 형성하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
14 14
청구항 10에 있어서,상기 반도체 소자층은 유기 발광 다이오드, 유기 전계 트랜지스터 중 적어도 하나를 포함하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
15 15
청구항 10 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,상기 모체 기판은 유리 기판을 사용하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
16 16
청구항 10 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,상기 플렉서블 기판은 플라스틱 기판을 사용하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02110003 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02110003 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP05231450 JP 일본 FAMILY
4 JP22516021 JP 일본 FAMILY
5 US07989314 US 미국 FAMILY
6 US20100075447 US 미국 FAMILY
7 WO2008084956 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2110003 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2110003 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2110003 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2010516021 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2010516021 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP2010516021 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP5231450 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 US2010075447 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US7989314 US 미국 DOCDBFAMILY
10 WO2008084956 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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