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제1 화소부 및 상기 제1 화소부에 인접한 제2 화소부를 포함하는 복수의 화소부들을 갖는 기판 상에 배향막을 형성하는 단계;
이온빔(ion beam)이 통과되는 스캔부가 상기 제1 화소부와 대응하는 스캐닝 마스크를 이용하여 상기 제1 화소부 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계; 및
상기 스캔부가 상기 제2 화소부에 대응하도록 상기 스캐닝 마스크를 이동시켜 상기 제2 화소부 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 스캔부는
상기 제1 화소부를 포함하는 화소열 또는 상기 제2 화소부를 포함하는 화소열과 대응하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 화소부들 각각은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 복수의 영역들로 정의되고,
상기 배향막이 형성된 기판과 상기 스캐닝 마스크 사이에 배치되어 상기 화소부들의 제1 영역들과 대응하는 개구 패턴을 포함하는 영역 분할 마스크를 이용하여 상기 화소부들의 제1 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 화소부들의 제2 영역들과 대응하도록 이동된 상기 영역 분할 마스크 상에서 상기 제1 영역에 조사된 이온빔의 조사 방향과 다른 방향으로 상기 화소부들의 제2 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 화소부들의 제2 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계는,
상기 스캔부를 통해, 상기 제1 화소부의 제2 영역 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계; 및
상기 스캔부가 상기 제2 화소부에 대응하도록 상기 스캐닝 마스크를 이동시켜, 상기 제1 화소부의 제2 영역에 조사된 이온빔의 조사 방향과 동일한 방향으로 상기 제2 화소부의 제2 영역 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 상기 화소부의 단변이 분할되어 구분되는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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7
제3항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 상기 화소부의 장변이 분할되어 구분되는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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8
제1항에 있어서, 상기 스캔부는
상기 제1 화소부 또는 상기 제2 화소부와 대응하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 제1 화소부 및 상기 제2 화소부는 하나의 화소열인 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 제1 화소부 및 상기 제2 화소부를 포함하는 화소열과 인접한 화소열의 제3 화소부와 상기 스캔부를 대응시켜 상기 제3 화소부 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 화소부들 각각은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 복수의 영역들로 정의되고,
상기 배향막이 형성된 기판과 상기 스캐닝 마스크 사이에 배치되어 상기 화소부들의 제1 영역들과 대응하는 개구 패턴을 포함하는 영역 분할 마스크를 이용하여 상기 화소부들의 제1 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 화소부들의 제2 영역들과 대응하도록 이동된 상기 영역 분할 마스크 상에서 상기 제1 영역에 조사된 이온빔의 조사 방향과 다른 방향으로 상기 화소부들의 제2 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 화소부들의 제2 영역들 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계는,
상기 스캔부를 통해, 상기 제1 화소부의 제2 영역 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계; 및
상기 스캔부가 상기 제2 화소부에 대응하도록 상기 스캐닝 마스크를 이동시켜, 상기 제1 화소부의 제2 영역에 조사된 이온빔의 조사 방향과 동일한 방향으로 상기 제2 화소부의 제2 영역 상의 상기 배향막에 상기 이온빔을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 상기 화소부의 단변이 분할되어 구분되는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역은 상기 화소부의 장변이 분할되어 구분되는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 스캐닝 마스크의 이동속도는 0
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제1항에 있어서, 상기 이온빔의 에너지는 1×1013 Ar+/s·㎠ 내지 7×1013 Ar+/s·㎠인 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 배향막은 산화 실리콘, 질화 실리콘 및 산화 탄화 실리콘으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 배향막을 형성하는 단계 전에 투명 전극층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
상기 투명 전극층은 상기 화소부들 각각의 전면을 모두 커버하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 이온빔의 공급부는 상기 스캐닝 마스크와 동시에 이동하는 것을 특징으로 하는 표시 기판의 제조 방법
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