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다중배열 다이아몬드 공구팁 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015171966
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는 베이스판의 면상에 다수개의 다이아몬드 팁(Tip)이 가로 및 세로방향으로 설계에 따라 정해진 간격과 패턴을 유지하면서 배열되어 돌출되도록 구성함으로써 가공재료의 표면가공시 균질한 표면거칠기를 가지면서 균일하게 연마될 수 있도록 하고, 다이아몬드 팁의 형상과 크기 및 배열에 따라 가공조건을 조절하여 가공재료의 표면거칠기의 변화를 주면서 가공대상물의 재질에 따라 원하는 품질의 가공면을 얻을 수 있도록 하는 한편, 가공면에 형성되는 패턴을 예측할 수 있도록 한 새로운 다중배열 다이아몬드 공구팁 및 그 제조방법이 개시된다. 다중배열, 다이아몬드 공구팁
Int. CL C23F 1/24 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) B23P 15/28 (2006.01) C23C 16/27 (2006.01)
CPC C23C 16/277(2013.01) C23C 16/277(2013.01) C23C 16/277(2013.01) C23C 16/277(2013.01)
출원번호/일자 1020090019421 (2009.03.06)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0100499 (2010.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최수창 대한민국 부산광역시 동래구
2 김용우 대한민국 부산광역시 남구
3 이득우 대한민국 부산광역시 해운대구
4 김용일 대한민국 경기도 파주시 번영로 **, 새

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 백승준 대한민국 부산광역시 동구 중앙대로 ***, **층 ****호, ****호(초량동, 국제오피스텔)(특허법인신태양(부산분사무소))

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0139447-23
2 보정요구서
Request for Amendment		 2009.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0017396-58
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0159399-98
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.12.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0004917-26
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0182724-79
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0728738-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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설계에 따라 정해진 크기와 두께를 갖는 실리콘(12)의 표면에 미리 정해진 패턴을 형성하는 단계(ST1)와; 상기 실리콘(12)의 표면에 형성된 패턴면에 산화막(Oxide mask:14)을 도포하는 단계(ST2)와; 패턴면에 산화막(14)이 도포된 실리콘(12)을 에칭용액으로 에칭하여 산화막(14)이 도포되지 않은 실리콘(12)의 표면에 정해진 깊이를 갖는 팁성형홈(16)을 형성하는 단계(ST3)와; 패턴면에 도포된 산화막(14)을 제거하여 표면에 설계에 따라 정해진 배열을 갖는 팁성형홈(16)이 형성된 실리콘 몰드(18)를 제작하는 단계(ST4)와; 상기 실리콘 몰드(18)의 표면 및 해당 표면상에 형성된 팁성형홈(16)내에 균일한 입자크기를 갖는 다이아몬드분말(20)을 CVD(Chemical Vapor Deposition)방식으로 증착하는 단계(ST5)와; 표면 및 팁성형홈(16)에 정해진 두께의 다이아몬드 분말이 증착된 실리콘 몰드(18)를 수산화칼륨(KOH) 수용액으로 에칭하여 제거하는 단계(ST6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중배열 다이아몬드 공구팁의 제조방법
2 2
베이스판(22)의 면상에 다수개의 다이아몬드 팁(24)이 가로 및 세로방향으로 설계에 따라 정해진 간격과 패턴을 유지하면서 배열되어 돌출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 다중배열 다이아몬드 공구팁
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.