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컨디셔닝 후의 연마 패드의 형상을 측정하는 장치에 있어서, 몸체(20),상기 몸체 일측에 부착되어 중심축으로 기준으로 회전 가능한 이송 가이드(21), 상기 이송 가이드의 양측에 설치되는 벨트 구동 기어(25), 상기 벨트 구동 기어에 결합된 벨트(26), 제어부의 구동신호에 따라 상기 벨트 구동 기어를 구동시키는 구동 모터(23), 상기 이송 가이드 내에 설치되는 LM 가이드(27), 하부에 변위 측정 센서(30)가 부착되며, 상기 LM 가이드(27)에 결합되고, 상기 벨트(26)에 부착되어 벨트의 구동에 의해 LM 가이드를 따라 좌우 이동가능한 센서 지그부(28), 및 구동 모터의 구동, 이송 가이드의 회전 및 장치를 전체적으로 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 구동 모터는 이송 속도 및 위치 제어가 가능한 스탭핑 구동 모터인 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 변위 측정 센서는 접촉식 센서 또는 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 측정 장치
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제 3항에 있어서, 상기 변위 측정 센서는 비접촉식인 레이저 변위 센서 또는 접촉식인 리니어 게이지인 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 측정 장치
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컨디셔닝 후의 연마 패드의 형상을 보정하는 방법에 있어서, 변위 측정 센서를 이용하여 연마 패드의 형상(profile)을 측정하는 단계, 상기 단계의 측정값에 의해, 제어부는 연마 패드 중 웨이퍼가 접촉하는 부분의 마모량의 최대값과 최소값의 차, 또는 그 기울기가 설정값 이상인지 여부를 판단하고 그 값이 설정값 이상이면 명령신호를 보내 컨디셔너의 회전수를 조정하는 단계, 및조정된 컨디셔너의 회전수에 따라, 설정시간 동안 연마 패드를 컨디셔닝 하는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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제 5항에 있어서, 상기 조정된 컨디셔너의 회전수에 따라 컨디셔닝 단계 후, 변위 측정 센서를 이용하여 연마 패드 형상을 재측정하여, 연마 패드 중 웨이퍼가 접촉하는 부분의 마모량의 최대값과 최소값의 차, 또는 그 기울기가 설정값 이하로 낮아진 경우 CMP 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 연마 패드 형상의 측정은 연마 패드의 전체 직경을 측정하는 것이 아니라, 연마 패드 중심에서 연마 패드 에지 까지 연마 패드 반경의 연마 패드 형상만을 측정하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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제 5항에 있어서, 상기 컨디셔너의 회전수 조정단계에서, 컨디셔너의 회전수 뿐만아니라 연마 패드의 회전수도 조정하는 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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제 5항에 있어서, 상기 변위 측정 센서는 접촉식 센서 또는 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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제 9항에 있어서,상기 변위 측정 센서는 비접촉식인 레이저 변위 센서 또는 접촉식인 리니어 게이지인 것을 특징으로 하는 연마 패드 형상 보정 방법
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연마 패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너를 포함하는 화학적 기계적 연마 장치에 있어서, 상기 화학적 기계적 연마 장치의 일측에는 연마 패드의 컨디셔닝 후 연마 패드의 형상(profile)을 측정하는 연마 패드 형상 측정 장치를 구비하는 데, 상기 연마 패드 형상 측정 장치는몸체(20),상기 몸체 일측에 부착되어 중심축으로 기준으로 회전 가능한 이송 가이드(21), 상기 이송 가이드의 양측에 설치되는 벨트 구동 기어(25), 상기 벨트 구동 기어에 결합된 벨트(26), 제어부의 구동신호에 따라 상기 벨트 구동 기어를 구동시키는 구동 모터(23), 상기 이송 가이드 내에 설치되는 LM 가이드(27), 하부에 변위 측정 센서(30)가 부착되며, 상기 LM 가이드(27)에 결합되고, 상기 벨트(26)에 부착되어 벨트의 구동에 의해 LM 가이드를 따라 좌우 이동가능한 센서 지그부(28), 및 구동 모터의 구동, 이송 가이드의 회전 및 장치를 전체적으로 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
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제 13항에 있어서, 상기 구동 모터는 이송 속도 및 위치 제어가 가능한 스탭핑 구동 모터인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
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제 13항에 있어서, 상기 변위 측정 센서는 비접촉식인 레이저 변위 센서 또는 접촉식인 리니어 게이지인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
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