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실린더와 상기 실린더의 외측으로 돌출되어 관부재의 내면에 밀착되는 브러쉬를 포함하는 코팅장치를 이용하여 관부재의 내면에 레지스트층을 도포하는 레지스트층 형성 단계;
레이저를 상기 레지스트층에 조사하여 상기 레지스트층에 패턴을 형성하는 레지스트층 패턴 형성 단계;
상기 관부재의 내면을 에칭하는 단계; 및
잔류 레지스트층 제거 단계;
를 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 브러쉬는 내부 압력에 따라 팽창 또는 수축하며, 상기 코팅 장치는 상기 브러쉬의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부를 갖는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 레지스트층 형성 단계는 상기 관부재를 회전운동시키고, 상기 브러쉬를 직선 이송시키는 단계를 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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4
제1항에 있어서,
상기 코팅장치는 원통형 실린더와 상기 실린더의 일단에 설치되며 상기 실린더의 외측으로 돌출되어 상기 관부재의 내면에 밀착되는 브러쉬와 상기 실린더와 연결 설치되어 상기 실린더 및 상기 브러쉬의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하는 관부재 내면의 미세패턴 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 레지스트층을 형성한 후에 상기 관부재 내부로 램프를 삽입하여 상기 레지스트층을 경화시키는 단계를 더 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 레지스트층 패턴닝 단계는 상기 레지스트층에 레이저빔을 조사하여 상기 레지스트층을 용발(ablation)하는 단계를 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 레지스트층 패턴 형성 단계는 상기 관부재를 회전시키고, 상기 관부재의 내부에 삽입되어 상기 레지스트층을 향하여 레이저를 조사하는 레이저빔 전송기를 직선 이송하는 단계를 포함하는 관부재 내면의 미세패턴 형성 방법
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8
제1항에 있어서,
상기 레지스트층 패턴 형성 단계는 상기 관부재 내에 레이저빔 전송기를 삽입하여 상기 레지스트층으로 레이저빔을 조사하고,
상기 레이저빔 전송기는 레이저빔을 집속하는 집광렌즈와 집속된 레이저빔을 상기 관부재의 내면을 향하도록 조절하는 반사판을 포함하는 관부재의 내면의 미세패턴 형성 방법
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제8항에 있어서,
상기 레이저빔 전송기는 두개의 렌즈로 이루어진 빔 익스팬더(beam expander)와 상기 렌즈들 사이에 설치된 어퍼처(aperture)를 포함하는 관부재 내면의 미세패턴형성 방법
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제1항에 있어서,
상기 레지스트층을 에칭하는 단계는 상기 관부재의 양단에 중앙에 홀이 형성된 캡부재를 설치하는 단계와 상기 관부재 내에 에칭액을 주입하는 단계, 및 상기 관부재를 회전시키는 단계를 포함하는 관부재 내면의 미세패턴 형성 방법
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실린더와 상기 실린더의 외측으로 돌출되어 관부재의 내면에 밀착되는 브러쉬를 포함하는 코팅장치를 이용하여 회전하는 관부재의 내면에 레지스트층을 도포하는 레지스트층 형성 단계;
레이저를 상기 관부재의 내면에 조사하여 상기 레지스트층 및 상기 관부재 내면을 용발(ablation)하여 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계; 및
잔류 레지스트층 제거 단계;
를 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제11항에 있어서,
상기 브러쉬는 내부 압력에 따라 팽창 또는 수축하며, 상기 코팅 장치는 상기 브러쉬의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부를 갖는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제11항에 있어서,
상기 레지스트층 형성 단계는 상기 관부재를 회전 운동시키고, 상기 브러쉬를 직선 이송시키는 단계를 포함하는 관부재 내면의 패턴 형성 방법
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제11항에 있어서,
상기 코팅장치는 원통형 실린더와 상기 실린더의 일단에 설치되며 상기 실린더의 외측으로 돌출되어 상기 관부재의 내면에 밀착되는 브러쉬와 상기 실린더와 연결 설치되어 상기 실린더 및 상기 브러쉬의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하는 관부재 내면의 미세패턴 형성 방법
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관부재 내면에 레지스트층을 코팅하는 장치에 있어서,
실린더;
상기 실린더의 외측으로 돌출되어 상기 관부재의 내면에 밀착되며 내부 압력에 따라 팽창 또는 수축하는 브러쉬; 및
상기 브러쉬의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부;
를 갖는 코팅 장치
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16
제15항에 있어서,
상기 실린더는 중공형으로 이루어지며, 상기 브러쉬와 내부가 연통된 코팅 장치
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