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광원과 광분리/결합기가 구비되어 상기 광원에서 나온 광이 상기 광분리/결합기를 통과하며 샘플용 광과 참조용 광으로 분리되도록 하고, 측정대상물로 광을 입사시키기 위한 샘플단과 광간섭을 유도하기 위한 참조단이 구비되어 샘플용 광과 참조용 광이 각각 샘플단과 참조단으로 입사되도록 하며, 신호측정장치가 구비되어 상기 샘플단을 통해 측정대상물로 입사된 후 반사되어 나온 샘플용 광과 참조단으로 입사된 후 다시 반사되어 나온 참조용 광이 상기 광분리/결합기로 유도되어 형성되는 간섭신호가 분석되도록 하여 측정대상물에 대한 정보를 획득하게 되는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템에 있어서,
상기 참조단은 광을 지연시키기 위한 다수개의 광지연기와 상기 광지연기의 개수에 대응하는 표면을 가진 다면체 거울이 구비되어 상기 광분리/결합기와 병렬로 연동되는 상기 각각의 광지연기로 입사되는 참조용 광이 상기 다면체 거울의 표면에 순차적으로 반사되면서 상기 광분리/결합기로 순차적으로 유도되도록 하고,
상기 신호측정장치는 상기 참조단으로부터 순차적으로 유도되는 각각의 참조용 광과 상기 샘플단으로부터 유도되는 샘플용 광이 서로 간섭되어 형성되는 각각의 간섭신호를 직렬로 연결시키는 간섭신호처리알고리즘이 구비되어 상기 측정대상물의 깊이방향으로 단층촬영이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템
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제 1항에 있어서,
상기 참조단은 상기 다면체 거울을 회전시키게 되는 회전용 드라이버가 구비되어 상기 다면체 거울의 표면 개수에 대응하는 회전각으로 상기 다면체 거울이 회전하도록 하되,
상기 다면체 거울에 형성된 다수개의 표면은 하나의 반사면만을 가지도록 형성되어 상기 다면체 거울의 회전에 따라 상기 다면체 거울의 반사면으로 참조용 광을 입사시키게 되는 광지연기의 참조용 광만을 순차적으로 상기 광분리/결합기로 유도시키게 되는 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템
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제 2항에 있어서,
상기 참조단의 회전용 드라이버는 상기 광원이 광을 입사시키는 시간간격에 상기 다면체 거울을 정해진 회전각으로 회전시키는 시간간격을 동기화시키는 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다수개의 광지연기는 정해진 광지연길이만큼 순차적으로 증가되는 기준 광경로를 가지도록 배열된 다수개의 고속광경로지연기(RSOD)인 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템
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제 1항에 있어서,
상기 광분리/결합기는 상기 샘플단 및 상기 참조단과 광섬유로 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템
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광원과 광분리/결합기가 구비되어 상기 광원에서 나온 광이 상기 광분리/결합기를 통과하며 샘플용 광과 참조용 광으로 분리되도록 하고, 측정대상물로 광을 입사시키기 위한 샘플단과 광간섭을 유도하기 위한 참조단이 구비되어 샘플용 광과 참조용 광이 각각 샘플단과 참조단으로 입사되도록 하며, 신호측정장치가 구비되어 상기 샘플단을 통해 측정대상물로 입사된 후 반사되어 나온 샘플용 광과 참조단으로 입사된 후 다시 반사되어 나온 참조용 광이 상기 광분리/결합기로 유도되어 형성되는 간섭신호가 분석되도록 하여 측정대상물에 대한 정보를 획득하게 되는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템의 광지연길이 연장방법에 있어서,
정해진 광지연길이만큼 순차적으로 증가되는 기준 광경로를 가지는 다수개의 광지연기가 상기 참조단에 병렬 배열되어 상기 광분리/결합기로부터 입사되는 참조용 광이 각각의 광지연기로부터 순차적으로 재반사되어 상기 광분리/결합기로 순차적으로 유도되는 단계와;
상기 참조단으로부터 순차적으로 유도되는 각각의 참조용 광과 상기 샘플단으로부터 유도되는 샘플용 광이 서로 간섭되어 형성되는 각각의 간섭신호를 상기 신호측정장치가 직렬로 연결하여 광지연길이가 연장되면서 상기 측정대상물의 깊이방향으로 단층촬영이 이루어지도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광간섭현상을 이용한 광학측정시스템의 광지연길이 연장방법
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