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자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

  • 기술번호 : KST2015173760
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치에 관한 것으로, 서로 다른 파장을 갖는 제 1 및 제 2광원을 하나의 전송로에 다중 유도하는 파장분할 다중화수단과, 상기 다중 유도된 제 1 및 제 2광원을 특정 물질의 표면 방향(Z축 방향)으로 집중시키는 집광수단과, 상기 물질 표면이 상기 제 1광원의 광웨이스트와 상기 제 2광원의 광웨이스트 사이의 소정 위치를 유지하도록 제어하는 서보수단과, 상기 물질 표면을 X축 및 Y축 방향으로 측정하는 스캔수단과, 상기 서보수단에 의한 위치 제어값을 상기 물질 표면의 Z축 좌표로 입력받고 상기 스캔수단에 의하여 측정된 상기 물질 표면의 X축 및 Y축 좌표를 입력받아 상기 물질 표면구조를 3차원 정보로 가공하는 이미지 처리수단을 포함하여, 종래 기술과 비교할 때에 위상 측정장치 및 광분리기 등과 같은 광학계가 사용되지 않아 안정된 구조를 가지며 구조가 간단하여 외부 충격에 매우 강한 이점이 있다.
Int. CL G01B 11/24 (2006.01)
CPC G01B 11/245(2013.01) G01B 11/245(2013.01) G01B 11/245(2013.01)
출원번호/일자 1020000033540 (2000.06.19)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0352939-0000 (2002.09.03)
공개번호/일자 10-2001-0113272 (2001.12.28) 문서열기
공고번호/일자 (20020916) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.06.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김덕영 대한민국 광주광역시광산구
2 성낙현 대한민국 충청남도공주시
3 박용우 대한민국 서울특별시서초구
4 육영춘 대한민국 전라북도전주시완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2000-0124267-39
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2001.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2001-5285275-54
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.05.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2002-0009107-56
5 등록결정서
Decision to grant		 2002.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0297749-62
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2003-5076055-97
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0574658-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

서로 다른 파장을 갖는 제 1 및 제 2광원을 하나의 전송로에 다중 유도하는 파장분할 다중화수단과,

상기 다중 유도된 제 1 및 제 2광원을 특정 물질의 표면 방향(Z축 방향)으로 집중시키는 집광수단과,

상기 물질 표면이 상기 제 1광원의 광웨이스트와 상기 제 2광원의 광웨이스트 사이의 소정 위치를 유지하도록 제어하는 서보수단과,

상기 물질 표면을 X축 및 Y축 방향으로 측정하는 스캔수단과,

상기 서보수단에 의한 위치 제어값을 상기 물질 표면의 Z축 좌표로 입력받고 상기 스캔수단에 의하여 측정된 상기 물질 표면의 X축 및 Y축 좌표를 입력받아 상기 물질 표면구조를 3차원 정보로 가공하는 이미지 처리수단을 포함하는 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

2 2

제 1항에 있어서,

상기 서보수단의 제어에 의하여 유지되는 상기 물질 표면의 위치는 상기 제 1광원의 광웨이스트와 상기 제 2광원의 광웨이스트 사이의 중앙 위치임을 특징으로 한 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

3 3

제 1항에 있어서,

상기 서보수단은 상기 전송로에 유도되는 상기 물질 표면에 의한 반사광 중 상기 제 1광원에 의한 반사광을 상기 파장분할 다중화수단을 통하여 분파 받아 광의 세기를 측정하는 제 1광검출기와,

상기 반사광 중 상기 제 2광원에 의한 반사광을 상기 파장분할 다중화수단을 통하여 분파 받아 광의 세기를 측정하는 제 2광검출기와,

상기 제 1 및 제 2광검출기에 의한 측정값 차에 따라 상기 집광수단 또는 물질의 위치를 가변시키는 위치 조정수단을 포함하는 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

4 4

제 3항에 있어서,

상기 전송로는 절단된 광섬유에 의하여 제공되며,

상기 집광수단은 상기 광섬유의 종단과 상기 물질 표면과의 사이에 설치된 렌즈를 포함하는 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

5 5

제 3항에 있어서,

상기 집광수단은 상기 전송로를 제공하며 상기 물질 표면에서 소정 거리로 이격 설치된 광섬유렌즈를 포함하는 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

6 6

제 4항 또는 제 5항에 있어서,

상기 위치 조정수단은 상기 제 1 및 제 2광검출기에 의한 측정값을 반전 및 비반전 단자로 입력받아 차를 검출하는 차동 증폭기와,

상기 광섬유와 렌즈, 물질 중 어느 하나에 부착 또는 상기 광섬유렌즈와 물질 중 어느 하나에 부착되며 인가 전압에 따라 구동되어 부착주체의 위치를 가변시키는 PZT와,

상기 차동 증폭기의 출력에 대응하여 상기 PZT에 구동 전압을 인가하는 PZT 구동기를 포함하는 자동 거리 유지장치를 이용한 물질 표면구조 측정장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.