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코스퍼터링법을 이용한 박막형 연료전지용 전극의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015173828
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 코스퍼터링법을 이용한 박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막형 연료전지용 전극을 제조하는데 있어서 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시키는 코스퍼터링법을 이용함으로써, 전극에 포함된 합금의 조성을 다양하게 변화시킬 수 있을 뿐만 아니라 전극의 구조가 조밀하지 않도록 제어할 수 있으며, 이에 의하여 종래 증착법 또는 스퍼터링법으로는 구현하기 어려웠던 연료전지의 소형화, 집적화에 유용한 우수한 전기화학적 물성을 갖는 전극을 제조할 수 있는 박막형 연료전지용 전극의 제조방법에 관한 것이다.코스퍼터링법, 박막형 연료전지용 전극, 증착법, 스퍼터링법
Int. CL H01M 4/88 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020046141 (2002.08.05)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0460443-0000 (2004.11.29)
공개번호/일자 10-2004-0013284 (2004.02.14) 문서열기
공고번호/일자 (20041208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.08.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박경원 대한민국 광주광역시북구
2 안광순 대한민국 광주광역시북구
3 최종호 대한민국 광주광역시북구
4 나윤채 대한민국 광주광역시북구
5 성영은 대한민국 광주광역시북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2002-0252864-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2003-5076055-97
3 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2004.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2004-5037060-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2004-0042371-81
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0298464-03
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0439505-59
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0456036-91
10 의견서
Written Opinion		 2004.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2004-0456037-36
11 등록결정서
Decision to grant		 2004.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0468866-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
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6 6

스퍼터링 건을 이용하여 금속 및 금속산화물을 기판 위에 둘 이상의 스퍼터링 건을 동시에 작동시킴으로써 제조된 박막형 연료전지용 전극에 있어서, 금속 산화물의 조성이 상기 전극의 5 ∼ 50 중량% 범위로 혼합되어 존재하며, 전극의 조밀도(단위면적당 원자개수)는 0

7 7

제 6 항에 있어서, 상기 금속은 백금, 루테늄, 금, 은, 이리듐, 팔라듐, 니켈, 로디움, 오스뮴 및 이들의 합금 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 박막형 연료전지용 전극

8 8

제 6 항에 있어서, 상기 금속산화물은 텅스텐 산화물, 루테늄 산화물, 탄탈륨 산화물, 이리듐 산화물, 니켈 산화물, 크롬 산화물, 바나듐 산화물, 티타늄 산화물, 코바트 산화물, 지르코늄 산화물, 니오뮴 산화물, 오스뮴 산화물 및 로듐 산화물 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 박막형 연료전지용 전극

9 9

제 6 항에 있어서, 상기 기판은 인듐틴산화물(ITO), 실리콘, 유리, 카본 종이, 카본 천 및 이들의 혼합물 중에서 선택된 것임을 특징을 하는 박막형 연료전지용 전극의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.