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진공 챔버;
상기 진공 챔버로 입사된 레이저가 진행하는 경로를 형성하는 입사 광학계;
상기 입사 광학계로부터 조사되는 레이저의 선행펄스 대비 주펄스의 세기 대조비를 조절하는 광조절계; 그리고,
상기 광조절계에서 반사되는 레이저가 상기 진공 챔버의 외측으로 진행하는 경로를 형성하는 반사 광학계;를 포함하고,
상기 광조절계는 상기 입사 광학계로부터 조사되는 레이저의 진행 경로에 순차적으로 배치되어 상기 레이저를 선택적으로 반사시키는 두 개의 플라즈마 거울 및 상기 플라즈마 거울에 조사되는 레이저의 집속도를 제어하도록 상기 플라즈마 거울의 위치를 조절하는 구동 유닛을 구비하고, 상기 레이저는 상기 두 개의 플라즈마 거울에 같은 크기의 집속도로 입사되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제1항에 있어서,
상기 입사 광학계로부터 조사되는 레이저가 상기 각각의 플라즈마 거울에 순차적으로 반사되어 상기 반사 광학계로 진행할 수 있도록, 상기 각각의 플라즈마 거울은 서로 다른 방향으로 기울어진 상태로 마주하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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삭제
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제1항에 있어서,
상기 구동유닛은, 상기 플라즈마 거울의 위치를 이동시킬 수 있는 수평 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제1항에 있어서,
상기 입사 광학계로부터 조사되는 레이저의 초점이 상기 두 개의 플라즈마 거울 사이에 위치할 수 있도록, 상기 구동 유닛은 상기 플라즈마 거울 사이의 간격을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제 5항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 각 플라즈마 거울을 각각의 표면 방향을 따라 슬라이딩 시킬 수 있는 액추에이터를 구비하여, 상기 액추에이터를 이용하여 상기 플라즈마 거울 사이의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제5항에 있어서,
상기 반사 광학계는 상기 두 개의 플라즈마 거울을 중심으로 상기 입사 광학계와 대칭을 이루도록 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제7항에 있어서,
상기 반사 광학계는 위치조절이 가능하게 설치되어, 상기 플라즈마 거울의 위치가 변경되더라도 상기 변경된 플라즈마 거울의 위치를 중심으로 상기 입사 광학계와 대칭적으로 구성될 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제8항에 있어서,
상기 입사 광학계는 상기 진공 챔버 내부로 레이저가 진입하는 진입부; 상기 진입한 레이저를 집광시키는 제1 포물거울; 그리고 상기 제1 포물거울로부터 반사되는 레이저를 상기 플라즈마 거울로 반사하는 제1 반사거울을 포함하여 구성되고,
상기 반사 광학계는 상기 플라즈마 거울로부터 반사되는 레이저가 조사되는 제2 반사거울; 상기 제2 반사거울로부터 반사된 레이저를 평행광으로 전환시키는 제2 포물거울; 상기 제2 포물거울로부터 반사되는 레이저를 상기 진공 챔버 외측으로 배출하는 출구부; 그리고, 상기 제2 반사거울, 제2 포물거울 및 출구부의 위치를 일제히 조절할 수 있는 이송유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제9항에 있어서,
상기 진입부로 입사되는 레이저 광원의 위치 또는 상기 출구부로부터 조사되는 타켓의 위치에 따라 높이 조절이 가능하도록, 상기 진입부 및 출구부는 페리스코프를 이용하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제10항에 있어서,
상기 페리스코프는 두 개의 거울로 구성되며, 상기 레이저는 상기 페리스코프를 지나면서 편광 특성이 변경되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제1항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 레이저에 의해 조사되는 상기 플라즈마 거울의 위치를 선택적으로 변경할 수 있도록, 상기 레이저가 조사되는 상기 플라즈마 거울의 표면 방향으로 상기 플라즈마 거울을 이동시킬 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제12항에 있어서,
상기 구동유닛은 상기 플라즈마 거울의 수직 위치를 변경시킬 수 있는 수직 스테이지 또는 상기 플라즈마 거울을 상기 거울의 표면 방향을 따라 슬라이딩 시킬 수 있는 엑추에이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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14
제1항에 있어서,
상기 플라즈마 거울은 상기 진공 챔버 내측에 착탈 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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제14항에 있어서,
상기 플라즈마 거울은 자력을 이용하여 상기 진공 챔버의 내측에 착탈이 이루어지도록 구성되며, 상기 진공 챔버 내측의 기 설정된 세 지점으로 상기 플라즈마 거울의 대응되는 세 지점이 일괄적으로 부착되어, 상기 플라즈마 거울의 부착과 동시에 정렬이 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 변조장치
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