| 1 |
1
기판 위에 버퍼층, 수직자기 이방성을 갖는 기준층, 비자성층, 수평자기 이방성을 갖는 측정층, 보호층이 순차적으로 적층되는 거대자기저항 스핀밸브센서에 있어서,상기 측정층은 수평자기 이방성을 갖는 강자성체 전이금속과, 희토류금속 또는 전이금속으로 구성되는 다층박막 구조를 포함하는 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 수평자기 이방성을 갖는 강자성체 전이금속은 Co, Fe, Ni 및 이들을 기반으로 하는 합금 중에서 선택되고, 상기 희토류금속은 Tb이고, 상기 전이금속은 Pt, Pd 또는 Au인 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서, 상기 수직자기 이방성을 갖는 기준층은, Co, Fe, Ni 및 이들을 기반으로 하는 합금 중에서 선택되는 수직자기 이방성을 갖는 강자성체 전이금속과, Tb, Pd 또는 Au 중에서 선택되는 금속층으로 구성되는 다층박막 구조를 포함하는 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 4 |
4
청구항 2에 있어서, 상기 측정층은 제1 CoFe/Tb층이 적어도 2층 이상 적층되는 다층박막 구조인 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 상기 기준층은 제2 CoFe/Tb층이 적어도 2 이상 적층되고, 최상부에는 CoFe층이 추가로 적층되는 다층박막 구조를 포함하는 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 6 |
6
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 Si/SiO2, Si 기판, 사파이어 기판 또는 유리 기판인 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 7 |
7
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 버퍼층 및 보호층은 Ta인 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 8 |
8
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비자성층은 Cu인 거대자기저항 스핀밸브센서
|
| 9 |
9
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 CoFe/Tb층에서 CoFe의 두께는 1
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서, 상기 제2 CoFe/Tb층에서 CoFe의 두께는 1
|
