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Z축 나노 스캐너의 움직임에 따른 광센서의 피드백으로 제어기에서 샘플 표면 형상에 대한 제1 위상 신호를 검출하는 단계;상기 제1 위상 신호가 기설정된 값보다 작은지를 판별하는 단계;상기 제1 위상 신호의 값에 따라, 광센서에 연결된 제1 스위치와 스트레인 게이지 센서에 연결된 제2 스위치 중 어느 하나를 온시키는 단계; 및온상태로 제어된 스위치로 들어오는 위상 신호를 샘플 형상의 최종 위상 신호로 판별하고, 이에 대한 최종 형상 이미지를 도출하는 단계;를 포함하는 광학식 원자 현미경의 동작 방법
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제 7항에 있어서,상기 제1 위상 신호가 기설정된 값보다 작으면, 상기 광센서에 연결된 제1 스위치는 온되고 상기 제2 스위치는 오프되며, 상기 스트레인 게이지 센서에 연결된 전원은 오프되는 광학식 원자 현미경의 동작 방법
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제 8항에 있어서,상기 Z축 나노 스캐너의 움직임에 따른 광센서의 피드백에 따라 제어기에서 출력된 샘플 표면 형상에 대한 제1 위상 신호가 최종 위상 신호로 선택되어 상기 샘플에 대한 최종 형상 이미지가 도출되는 광학식 원자 현미경의 동작 방법
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제 7항에 있어서,상기 제1 위상 신호가 기설정된 값보다 크면, 상기 광센서에 연결된 제1 스위치는 오프되고 상기 제1 스위치는 온되며, 상기 스트레인 게이지 센서에 연결된 전원은 온되는 광학식 원자 현미경의 동작 방법
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제 10항에 있어서,상기 스트레인 게이지 센서가 온됨에 따라, 상기 Z축 나노 스캐너의 움직임에 따른 절대 변위에 대한 제2 위상 신호가 최종 위상 신호로 선택되어 상기 샘플에 대한 최종 형상 이미지가 도출되는 광학식 원자 현미경의 동작 방법
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원자 현미경에 구비되며 Z축 방향의 샘플의 형상 이미지를 얻기 위한 Z축 나노 스캐너에 스트레인 게이지 센서를 부착하는 방법으로서, 상기 Z축 나노 스캐너의 일측에 Z축 나노 스캐너의 구동축과 평행하도록 액티브 게이지 센서를 부착하는 단계; 및상기 액티브 게이지 센서의 연장 방향과 직교하도록 더미 게이지 센서를 부착하는 단계;를 포함하고,상기 액티브 게이지 센서와 더미 게이지 센서는 상기 Z축 나노 스캐너와 같은 높이에 위치하도록 부착되는 스트레인 게이지 센서 부착 방법
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