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캔틸레버 프로브 양단의 변위를 측정하는 센서를 이용한고속고정밀 원자현미경

  • 기술번호 : KST2015174055
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 측정물의 원자단위 3차원 정보를 얻기 위한 현미경인 원자현미경(AFM)은 힘 센서의 한 종류인 캔틸레버를 이용하여 시편 표면의 나노 형상정보를 얻는다. 그러나 한 가지 센서를 사용하여 형상정보를 얻어내는 제어 알고리즘에서는 최적의 제어기를 설계하지 못한다면, 탁월한 힘 제어 뿐 아니라, 이 제어신호를 이용한 시편의 형상획득에서도 높은 신뢰성을 얻을 수 없다. 특히 원자현미경의 정확한 수학적 모델링을 구하지 못한다면, 최적 제어기를 구현하였다 하더라도 제어기를 통해 나오는 신호와 캔틸레버를 움직이는 액추에이터(이하 액추에이터라 칭함.)의 수학적 모델링에 기반한 측정물의 나노 형상정보의 오차는 더욱 더 커질 수밖에 없다. 이를 위해 인터페로미터와 같은 액추에이터의 절대 변위를 측정하는 센서, 액추에이터와 캔틸레버의 상대적 움직임을 측정하는 상대 변위센서를 사용한다면, 힘 피이드 백 제어기의 성능 및 시스템의 정확한 수학적 모델에 구애받지 않고 나노 형상정보를 정확하게 얻을 수 있다.원자 현미경(AFM), 레이저 위치 간섭계
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01Q 10/06 (2011.01) G01Q 20/00 (2011.01) G01Q 60/24 (2011.01)
CPC G01Q 20/04(2013.01) G01Q 20/04(2013.01) G01Q 20/04(2013.01) G01Q 20/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070044188 (2007.05.07)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0098837 (2008.11.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박기환 대한민국 광주광역시 북구
2 염우섭 대한민국 대전광역시 서구
3 정종규 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0339097-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0031499-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0453150-68
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0752022-66
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0752020-75
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0082856-15
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0251079-29
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0352044-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
측정물 형상의 높낮이 따라 상하로 이동하는 캔틸레버;상기 캔틸레버가 일정한 힘을 받도록 제어하는 액추에이터;캔틸레버 일단에 구비되고 액추에이터의 절대변위를 측정하는 제 2센싱수단 및 상기 캔틸레버 타단에 구비되고, 상기 액추에이터와 상기 캔틸레버의 상대변위를 측정하는 제 1센싱수단을 포함하는 원자현미경
2 2
제 1항에 있어서,상기 제 2센싱수단은 인터페로미터, 압전 저항센서 및 광센서 중 선택되는 1종의 센싱수단을 사용하는 것을 특징으로 하는 원자현미경
3 3
제 1항에 있어서,상기 제 2센싱수단은 인터페로미터, 압전 저항센서 및 광센서 중 선택되는 1종의 센싱수단을 사용하는 것을 특징으로 하는 원자현미경
4 4
제 1항에 있어서,측정물의 변위()는 다음식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 원자현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.