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폴리머 마이크로 탐침장치, 및 그 제작방법

  • 기술번호 : KST2015177602
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치, 그 제작방법에 관한 것으로, 본 발명의 폴리머 마이크로 탐침장치는, 다수의 금속패드(111)가 마련되며, 일단에 돌출 형성된 캔틸레버(112)가 일체로 마련된 폴리머 재질의 몸체부(110)와; 상기 금속패드(111) 각각과 대응되어 전극 패턴으로 연결되며, 상기 캔틸레버(112)를 따라서 고정되어 선단이 상기 캔틸레버(112)의 외측으로 돌출 형성되어 시편과 접촉이 이루어지는 서로 독립 구동이 가능한 다수 개의 탐침(121)을 갖는 탐침부(120);를 포함한다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01) G01R 31/26 (2014.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01) G01R 1/067(2013.01)
출원번호/일자 1020130135270 (2013.11.08)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1548246-0000 (2015.08.24)
공개번호/일자 10-2015-0053397 (2015.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20150828) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이동원 대한민국 광주 북구
2 김지관 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-1018340-49
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0073046-18
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0833435-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0100061-19
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0100060-63
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0228733-96
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0532924-61
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0532923-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
12 등록결정서
Decision to grant
2015.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0557761-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 금속패드가 마련되며, 일단에 돌출 형성된 캔틸레버가 일체로 마련된 폴리머 재질의 몸체부와;상기 금속패드 각각과 대응되어 전극 패턴으로 연결되며, 상기 캔틸레버를 따라서 고정되어 선단이 상기 캔틸레버의 외측으로 돌출 형성되어 시편과 접촉이 이루어지는 서로 독립 구동이 가능한 다수 개의 탐침과, 각 탐침에서 연장 형성된 첨단의 팁을 갖는 탐침부;를 포함하며, 상기 전극 패턴 각각은 탐침과 연결되는 금속층과, 상기 금속층 일부를 감싸도록 마련된 도전성의 지지층으로 구성됨을 특징으로 하는 폴리머 마이크로 탐침장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 탐침부는, 4개의 탐침으로 구성되어 각 탐침은 사각 평면의 각 코너에 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리머 마이크로 탐침장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 지지층의 단면은 금속층보다 높게 형성되어 상단은 금속층의 폭보다 큰 곡률의 곡면인 것을 특징으로 하는 폴리머 마이크로 탐침장치
5 5
삭제
6 6
복수의 탐침을 갖는 폴리머 마이크로 탐침장치의 제조방법에 있어서,웨이퍼에 산화막을 형성하고 포토리소그래피 공정을 이용하여 산화막과 웨이퍼를 식각하여 웨이퍼 상부에 복수의 탐침 형상을 갖는 탐침부와 대응되도록 몰드구조체를 제작하는 제1단계와;상기 몰드구조체에 희생층을 증착하는 제2단계와;희생층 상부에 도전성 금속층을 형성하고 스프레이 코팅법에 의한 포토레지스트(PR)를 도포하는 포토리소그래피 공정을 이용하여 도전성 금속패턴과 탐침부를 형성하는 제3단계와;상기 도전성 금속패턴이 노출되도록 스프레이 코팅법에 의해 희생층 상부에 PR 패턴을 형성하는 제4단계와;전기도금을 이용하여 도전성 금속패턴 상부에 도전성의 지지층을 형성하고 PR 패턴을 제거하는 제5단계와;탐침부를 제외하고 상기 지지층의 일부분을 덮도록 폴리머 패턴을 형성하는 제6단계와;희생층을 제거하여 몰드구조체와 분리하는 제7단계;를 포함하는 폴리머 마이크로 탐침장치의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 제5단계에서 상기 지지층은, 단면이 금속패턴 보다 높게 형성되고 상단은 금속패턴의 폭보다 큰 곡률의 곡면인 것을 특징으로 하는 폴리머 마이크로 탐침장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 전남대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 핵심연구 사각 배열을 갖는 다기능 마이크로 4단자 탐침 시스템 연구