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가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치 및 그 측정방법

  • 기술번호 : KST2015178715
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단색필터를 이용하여 백색광 또는 단색광을 선택적으로 주사할 수 있게 함과 동시에 측정광의 광행로의 높이를 조절할 수 있게 하여 탈축홀로그램 방식과 백색광을 이용한 높이 측정 방식을 이용하여 3차원 영상을 얻을 수 있게 함으로써, 측정높이의 한계와 함께 측정속도의 한계를 극복할 수 있도록 한 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.또한, 본 발명은 대상물의 높이 및 표면 상태에 따라 광원을 선택(단색광 또는 백색광)을 선택하고, 이에 맞게 단색필터를 온/오프하여 사용할 수 있게 함으로써, 측정하고자 하는 대상물의 크기와 측정 속도에 따라 적절한 측정방법을 선택하여 사용할 수 있도록 한 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
Int. CL G01B 11/24 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020110032529 (2011.04.08)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1261694-0000 (2013.04.30)
공개번호/일자 10-2012-0114778 (2012.10.17) 문서열기
공고번호/일자 (20130506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대석 대한민국 전라북도 완주군
2 김현석 대한민국 전라북도 전주시 완산구
3 진문섭 대한민국 전라남도 순천시 삼산로
4 서윤호 대한민국 전라북도 완주군
5 백인태 대한민국 전라북도 전주시 완산구
6 소민수 대한민국 전라북도 전주시 완산구
7 송선균 대한민국 전라북도 익산시
8 김강영 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김재구 대한민국 서울특별시 강서구 마곡중앙로 **-**, ***호 (마곡동, 에이스타워*)(상지국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0256810-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.08.31 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075926-59
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0629204-91
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1061974-38
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-1061964-82
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0267104-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
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번호 청구항
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광원(100);상기 광원(100)으로부터 생성된 광으로부터 일정한 파장대의 광을 투과하기 위한 단색필터(200);상기 단색필터(200)를 투과한 광을 기준광과 측정광으로 분할시켜 주는 빔분할기(300);상기 기준광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주기 위한 기준광 반사미러(400);상기 측정광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주며 높이 조절이 가능한 측정광 반사미러(500); 및상기 빔분할기(300)로 반사된 측정광과 기준광의 간섭을 검출하여 영상을 획득하는 촬상소자(600);를 포함하고,상기 단색필터(200)는 선택적으로 온/오프하여 사용되고,상기 단색필터(200)는 패브리-페로형 간섭필터인 것을 특징으로 하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치
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광원(100);상기 광원(100)으로부터 생성된 광으로부터 일정한 파장대의 광을 투과하기 위한 단색필터(200);상기 단색필터(200)를 투과한 광을 기준광과 측정광으로 분할시켜 주는 빔분할기(300);상기 기준광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주기 위한 기준광 반사미러(400);상기 측정광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주며 높이 조절이 가능한 측정광 반사미러(500); 및상기 빔분할기(300)로 반사된 측정광과 기준광의 간섭을 검출하여 영상을 획득하는 촬상소자(600);를 포함하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치로서,상기 측정장치는, 단파장 레이저를 이용하여 탈축(Off-axis) 방식으로 얻어진 홀로그램에 디지털 푸리에 변환(Digital Fourier Transform)을 이용하여 기준광과 측정광을 분리하고, 이들 분리된 광에 디지털 프레넬 변환(Digital Fresnel Transform)을 적용하여 3차원 입체 영상을 얻는 것을 특징으로 하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치
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광원(100);상기 광원(100)으로부터 생성된 광으로부터 일정한 파장대의 광을 투과하기 위한 단색필터(200);상기 단색필터(200)를 투과한 광을 기준광과 측정광으로 분할시켜 주는 빔분할기(300);상기 기준광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주기 위한 기준광 반사미러(400);상기 측정광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주며 높이 조절이 가능한 측정광 반사미러(500); 및상기 빔분할기(300)로 반사된 측정광과 기준광의 간섭을 검출하여 영상을 획득하는 촬상소자(600);를 포함하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치로서,상기 측정장치는, 백생광을 주사하는 경우, 상기 측정광 반사미러(500)의 높이를 조절하면서 스캔하여 피크를 검출하는 것을 특징으로 하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치
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광원(100);상기 광원(100)으로부터 생성된 광으로부터 일정한 파장대의 광을 투과하기 위한 단색필터(200);상기 단색필터(200)를 투과한 광을 기준광과 측정광으로 분할시켜 주는 빔분할기(300);상기 기준광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주기 위한 기준광 반사미러(400);상기 측정광을 다시 빔분할기(300)로 반사시켜 주며 높이 조절이 가능한 측정광 반사미러(500); 및상기 빔분할기(300)로 반사된 측정광과 기준광의 간섭을 검출하여 영상을 획득하는 촬상소자(600);를 포함하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정장치를 이용한 측정방법에 있어서,단색필터(200)를 온(ON)시키고 측정광 반사미러(500)의 마이크로 액츄에이터(510)를 온(ON)시키고, 광원(100)으로부터 백색광을 빔분할기(300)에 주사하여 측정광과 기준광으로 분할되게 한 다음,분할된 기준광과 측정광이 각각 기준광반사미러(400)와 측정광 반사미러(500)로부터 상기 빔분할기(300)로 반사되게 하고,반사된 측정광과 기준광을 이용하여 촬상소자(600)를 얻고, 마이크로 액츄에이터(510)를 3~99㎛로 고속 주사하여 정점을 검출하고,상기 단색필터(200)를 투과한 광의 가간섭성 폭은 100~200㎛인 것을 특징으로 하는 가간섭 특성을 이용한 3차원 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.