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게이트 절연막의 두께 측정방법

  • 기술번호 : KST2015179398
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 게이트 절연막의 두께 측정방법을 제공한다. 상기 게이트 절연막의 두께 측정 방법은 게이트 절연막이 형성된 기판을 세정하는 단계, 상기 세정된 기판에 X-선 입사각도에 따른 반사율(X-ray reflectivity; XRR)의 변화를 측정하여 반사율곡선을 측정하는 단계, 상기 게이트 절연막 상에 존재하는 표면 오염층을 고려한 층구조 모델을 적용하여 반사율을 계산하는 단계, 및 상기 반사율곡선과 계산된 반사율로부터 게이트 절연막의 두께를 도출하는 단계를 포함한다.게이트 절연막, 나노 박막, X-선 반사율 측정, 두께 측정
Int. CL G01N 23/00 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) G01B 11/06 (2011.01)
CPC G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060106721 (2006.10.31)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0833798-0000 (2008.05.26)
공개번호/일자 10-2008-0039055 (2008.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20080530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창수 대한민국 대전 유성구
2 구태경 대한민국 대전 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0798339-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.04.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0029303-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.11.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0604441-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.01.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0025009-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0024952-71
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0259497-99
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
게이트 절연막이 형성된 기판을 세정하는 단계;상기 세정된 기판에 X-선 입사각도에 따른 반사율(X-ray reflectivity; XRR)의 변화를 측정하여 반사율곡선을 측정하는 단계;상기 게이트 절연막 상에 탄소, 수소, 및 산소로부터 선택되는 1종 이상의 물질이 포함된 표면 오염층이 위치한 층구조모델을 적용하여 반사율을 계산하는 단계;상기 반사율곡선과 계산된 반사율곡선으로부터 게이트 절연막의 두께를 도출하는 단계;를 포함하는 게이트 절연막의 두께 측정방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 게이트 절연막은 실리콘 산화막 또는 고유전율을 가진 박막인 것을 특징으로 하는 게이트 절연막의 두께 측정방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 게이트 절연막은 서브 나노미터에서 수십 나노미터 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 게이트 절연막의 두께 측정방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기판을 세정하는 것은 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol; IPA)용액을 이용하여 세정하는 것인 게이트 절연막의 두께 측정방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 이소프로필 알코올 용액을 이용하여 세정한 후 상기 세정된 기판을 초음파 세척하는 것을 더욱 포함하는 게이트 절연막의 두께 측정방법
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제 1 항에 있어서,상기 X-선 반사율(X-ray reflectivity; XRR) 측정법을 이용하여 상기 게이트 절연막의 두께를 측정하는 것은 상기 기판을 진공 또는 고순도 질소, 헬륨 등의 불활성 기체분위기 내에 위치시키고 측정하는 것인 게이트 절연막의 두께 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.