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단일 편광자 초점 타원계측기

  • 기술번호 : KST2015179464
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단일 편광자 초점 타원계측기(single-polarizer focused-beam ellipsometer)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 편광용 광분할기가 편광 발생장치, 광분할기 및 편광 검출장치의 역할을 하도록 간편화된 구조를 갖으며 다중 입사면 측정을 다중 입사각에 적용하는 측정방법을 채택함으로써 측정 정밀도가 향상된 초점 타원계측기에 관한 것인데 시편에 의해 반사된 빛의 편광상태 변화를 측정함으로써 시편의 광물성, 즉 박막 시편의 경우에는 박막의 두께 및 굴절률 등에 대한 정확한 정보들을 분석해낼 수 있는 측정기술이다. 이를 위하여 본 발명의 타원계측기는 광원(light source); 상기 광원으로부터 방출된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 편광용 광분할기(polarizing beamsplitter); 상기 편광용 광분할기로부터 분할된 일부의 빛을 굴절시켜 시편에 집중시켜 조사시키는 대물렌즈(objective lens); 상기 시편으로부터 반사된 후 상기 대물렌즈 및 상기 편광용 광분할기를 통과한 빛을 수광하는 광검출기(photodetector); 상기 광검출기에 의해 검출된 빛의 세기(light intensity)를 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정하여 연산처리하는 연산처리장치(central processing unit)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 단일, 편광자, 초점, 타원계측기, 편광용 광분할기
Int. CL G01B 11/06 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) G01N 21/41 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070115398 (2007.11.13)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0917912-0000 (2009.09.10)
공개번호/일자 10-2009-0049226 (2009.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20090916) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용재 대한민국 대전시 유성구
2 제갈원 대한민국 대전시 유성구
3 조현모 대한민국 대전시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0812591-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0059311-98
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0016457-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0128295-79
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0312176-14
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0312197-73
8 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0362816-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
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광원(210); 상기 광원(210)으로부터 발생된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 광분할부(220); 상기 광분할부(220)로부터 분할된 일부의 빛을 시편(240)에 집중 조사시키는 대물렌즈(230); 상기 시편(240)으로부터 반사되어 상기 대물렌즈(230) 및 상기 광분할부(220)를 통과한 빛을 단위소자로 검출하는 광검출기(250); 상기 광검출기(250)에 의해 검출된 빛의 세기를 각각의 입사각들에 대해서 360°의 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기(250)의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정하여 연산처리하는 연산처리장치(260); 상기 광원(210)과 상기 광분할부(220) 사이에 구비되며 상기 광원(210)으로부터 방출된 빛을 평행광으로 만들기 위한 시준 광학계(270); 및 시편의 표면 영상을 관측할 수 있는 2차원 영상측정 장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
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광원(210); 상기 광원(210)으로부터 발생된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 광분할부(220); 상기 광분할부(220)로부터 분할된 일부의 빛을 시편(240)에 집중 조사시키는 대물렌즈(230); 상기 시편(240)으로부터 반사되어 상기 대물렌즈(230) 및 상기 광분할부(220)를 통과한 빛을 단위소자로 검출하는 광검출기(250); 상기 광검출기(250)에 의해 검출된 빛의 세기를 각각의 입사각들에 대해서 360°의 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기(250)의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정하여 연산처리하는 연산처리장치(260); 상기 광원(210)과 상기 광분할부(220) 사이에 구비되며 상기 광원(210)으로부터 방출된 빛을 평행광으로 만들기 위한 시준 광학계(270); 및 상기 시편을 지지하는 시료 받침대; 를 포함하여 이루어지며, 상기 시료 받침대는 전후좌우, 상하 및 회전 가능하도록 하는 이송장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
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광원(210); 상기 광원(210)으로부터 발생된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 광분할부(220); 상기 광분할부(220)로부터 분할된 일부의 빛을 시편(240)에 집중 조사시키는 대물렌즈(230); 상기 시편(240)으로부터 반사되어 상기 대물렌즈(230) 및 상기 광분할부(220)를 통과한 빛을 단위소자로 검출하는 광검출기(250); 상기 광검출기(250)에 의해 검출된 빛의 세기를 각각의 입사각들에 대해서 360°의 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기(250)의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정하여 연산처리하는 연산처리장치(260); 및 상기 대물렌즈(230) 전단에 상기 광분할부로부터 분할된 빛을 보상하기 위한 보상기(280) 또는 상기 대물렌즈(230) 전단에 상기 광분할부로부터 분할된 빛을 전기로 빛의 위상차를 제어할 수 있는 전기적 편광 변조장치(electrical polarization modulator); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
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제 12항에 있어서, 상기 보상기(280)는 상기 시편의 수직축에 대해서 회전시키는 회전장치가 더 구비된 것을 특징으로 하는 타원계측기
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4 US08009292 US 미국 FAMILY
5 US20100296092 US 미국 FAMILY
6 WO2009064102 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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3 JP2010530074 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2010530074 JP 일본 DOCDBFAMILY
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7 US2010296092 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US8009292 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO2009064102 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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1 교육과학기술부/지식경제부 한국표준과학연구원/한국표준과학연구원 나노메카트로닉스 기술개발사업/나노바이오 특정제어 기술개발사업 나노공정용 소재의 물성측정 및 손상기술개발/SPRE융합 고감도 바이오표면 분석장비 기술개발