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1
레이저빔 발생수단(10);
상기 레이저빔 발생수단(10)으로부터 생성된 레이저빔을 두 개의 편광(제1편광)으로 분리시켜 주는 제1편광 빔분리기(PBS1);
상기 제1편광을 진공챔버 내에 구비된 기준시료와 측정시료에 각각 입사시켜 반사되어 나온 광경로차를 갖는 각 편광을 집광하여 제2편광을 형성하는 제1비편광 빔분리기(NPBS1);
상기 제2편광을 원형 편광으로 변환시켜 주는 제1위상차판(QWP);
원형 편광된 상기 제2편광을 다시 분리시켜 주는 제2비편광 빔분리기(NPBS2);
분리된 상기 제2편광의 어느 한 편광의 위상을 바꿔주는 제2위상차판(HWP);
상기 제2편광의 다른 한 편광과, 상기 제2위상차판(HWP)을 투과한 편광을 각각 분리시켜 주기 위한 제2 및 제3편광 빔분리기(PBS2, PBS3); 및
상기 제2 및 제3편광 빔분리기(PBS2,PBS3)로부터 각각 분리된 4개의 편광을 검출하는 4개의 광검출기(PD1~PD4)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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2
제 1 항에 있어서,
상기 레이저빔 발생수단(10)은 선형 편광을 생성하는 헬륨-네온 레이저 발생기인 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 레이저빔 발생수단(10)은 45°의 선형 편광각도로 레이저빔을 제1편광 빔분리기(PBS1)에 주사하는 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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4
제 1 항에 있어서,
상기 제1편광 빔분리기(PBS1)로부터 분리된 제1편광은 각각 0°와 90°의 편광 각도를 갖는 편광인 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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5
제 1 항에 있어서,
상기 제1위상차판은 QWP(Quater-Wave Plate)인 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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6
제 1 항에 있어서,
상기 제2위상차판은 HWP(Half-Wave Plate)인 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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7
제 1 항에 있어서,
상기 4개의 광검출기(PD1~PD4)는 각각 0°,90°,180°,270°의 위상차를 갖는 광을 검출하는 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 장치
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8
(a) 편광 레이저빔을 생성하는 단계(S100);
(b) 상기 편광 레이저빔을 45°의 선형 편광 각도로 투사하여 위상이 각각 0°과 90°인 편광으로 분리하여 제1편광을 얻는 단계(S200);
(c) 상기 제1편광의 각 빔을 기준시료(110)와 측정시료(120)에 주사하여 빔의 경로차에 의해 임의의 편광 각도를 가지면서 반사된 각 빔을 합치고, 합쳐진 빔을 원형 편광시켜 제2편광을 얻는 단계(S300);
(d) 원형 편광된 상기 제2편광 중에서 하나의 빔의 위상을 180°로 바꿔주고, 이 빔과 나머지 빔을 편광 빔분리기에 투사하여 4개의 빔(제3편광)을 얻는 단계(S400); 및,
(e) 상기 제3편광으로부터 각각 위상차가 다른 신호 세기를 검출하여 필름의 두께를 계산하는 단계(S500);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 방법
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9
제 8 항에 있어서,
상기 편광레이져빔 생성단계(S100)는 헬륨-네온 레이저를 이용하여 편광 레이저빔을 생성하는 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 방법
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10
제 8 항에 있어서, 상기 제3편광 생성단계(S400)에서,
상기 제3편광은 각각 위상차가 각각 0°,90°,180°,270°인 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 방법
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11
제 8 항 내지 제 10 항중 어느 한항에 있어서,
상기 모니터링 방법은 편광 레이저빔 생성단계(S100)~필름두께 계산단계(S500)를 실시간으로 반복하여 실시하는 것을 특징으로 하는 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링 방법
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