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광원으로부터 발생된 빛을 편광된 빛으로 분할하는 광분할부;
상기 광분할부로부터 분할된 빛을 시편에 집중 조사시키는 광집중부; 및
상기 시편으로부터 반사된 후, 상기 광집중부 및 상기 광분할부를 통과한 빛을 검출하는 광검출부를 포함하되,
상기 광집중부는 상기 분할된 빛을 상기 시편에 선형으로 집중 조사시키는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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2
광원으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광부;
상기 편광부로부터 편광된 빛을 분할하는 광분할부;
상기 광분할부로부터 분할된 빛을 시편에 집중 조사시키는 광집중부;
상기 시편으로부터 반사된 후, 상기 광집중부 및 상기 광분할부를 통과한 빛에서 특정한 편광 상태를 검출하는 편광검출부; 및
상기 편광검출부를 통과한 빛을 검출하는 광검출부를 포함하되,
상기 광집중부는 상기 분할된 빛을 상기 시편에 선형으로 집중 조사시키는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 선형 초점 타원계측기는
상기 광분할부로부터 분할된 빛 중 일부만 통과시키기 위한 어퍼쳐를 더 포함하고, 상기 어퍼쳐는 상기 광분할부와 상기 광집중부 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 광집중부는 빛을 상기 시편에 선형으로 집중시키기 위한 원통형 광학계를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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5
제 4 항에 있어서,
상기 원통형 광학계는 반원통형 렌즈, 반원통형 거울, 곡면 거울 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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6
제 1 항에 있어서,
상기 광분할부는 편광용 광분할기 또는 비평광용 광분할기로 구성되고, 상기 광분할부가 상기 비평광용 광분할기로 구성되는 경우에 상기 선형 초점 타원계측기는 상기 광분할부와 상기 광집중부 사이에 선형 편광자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 광원은 백색광원 또는 단색광원인 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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8
제 7 항에 있어서,
상기 광원으로 백색광원을 사용하는 경우에, 상기 선형 초점 타원계측기는 특정 파장 범위의 빛을 통과시키는 대역 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 선형 초점 타원계측기는
상기 광분할부와 상기 광집중부 사이에, 상기 광분할부에 분할된 빛의 편광상태에 따라 상기 빛의 위상을 바꾸는 보상부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광검출부는
다수의 단위소자(pixel)로 구성된 2차원 영상측정 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 초점 타원계측기
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