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비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치

  • 기술번호 : KST2015179635
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비점수차를 갖는 렌즈를 이용하여 초점오차신호를 검출하고, 이를 이용하여 미세 형상을 측정하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치에 관한 것이다. 본 발명의 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치는 빛을 조사하는 광원과, 상기 광원으로부터 조사된 빛을 다점으로 통과시키는 다수의 구멍이 2차원 배열로 형성된 마스크를 포함하여 구성되어 측정대상물에 다점광을 제공하는 조명부와 ; 상기 측정대상물로부터 반사된 빛이 맺히는 결상수단와, 상기 결상수단과 측정 대상물 사이에 설치된 비점수차렌즈를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020100041061 (2010.04.30)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1133562-0000 (2012.03.29)
공개번호/일자 10-2011-0121461 (2011.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20120405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강주식 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재완 대한민국 대전광역시 유성구
3 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
4 엄태봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0283185-79
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0042559-04
3 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2010.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0306669-49
4 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2010.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0301226-76
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0059952-26
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0472694-66
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0832992-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0832991-19
10 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0184326-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
빛을 조사하는 광원(10)과, 상기 광원(10)으로부터 조사된 빛을 다점으로 통과시키는 다수의 구멍이 2차원 배열로 형성된 마스크(11)를 포함하여 구성되어 측정대상물(90)에 다점광을 제공하는 조명부(1)와; 상기 측정대상물(90)로부터 반사된 빛이 맺히는 결상수단(20)과, 상기 결상수단(20)과 측정 대상물 사이에 설치된 비점수차렌즈(21)를 포함하여 구성되되;상기 결상수단(20)은 CCD카메라 또는 4분할 광검출기의 2차원 배열이며, 상기 결상수단(20)에 결상되는 타원형태의 광점의 장축방향은 CCD카메라의 픽셀의 배열방향 또는 4분할광검출기의 구분축 방향과 45도의 각도를 이루고, 하기 수학식1에 의해 측정대상물과 렌즈 사이의 초점오차신호(FES)를 계산하고, 하기 수학식2와 수학식3의 오차신호영역 기울기(S)를 대입하여 물체와 렌즈사이의 거리를 계산하여 광점이 형성된 측정대상물 구역의 높이를 측정해 다점광이 맺히는 2차원 영역에서의 3차원 미세형상을 측정하는 것을 특징으로 하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서,상기 비점수차렌즈(21)는 수직실린더렌즈(21a)와 수평실린더렌즈(21b)로 구성됨을 특징으로 하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 수직실린더렌즈(21a)와 수평실린더렌즈(21b)는 일체로 구성됨을 특징으로 하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 조명부(1)와 측정대상물(90) 사이에는 조명부(1)로부터 조사된 빛을 측정대상물로 결상시키고, 측정대상물에 의해 반사된 빛을 결상수단(20) 방향으로 투과시키는 광분할기(80)가 더 설치됨을 특징으로 하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
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제 6 항에 있어서,상기 마스크(11)와 광분할기(80) 사이에는 광원으로부터 조사된 빛을 평행광으로 형성시키는 시준렌즈(12)가 설치됨을 특징으로 하는 비점수차 렌즈를 이용한 형상측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.