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형상 측정장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015179679
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저 간섭계를 이용한 나노 형상 측정장치 및 그 방법이 개시된다. 복수의 레이저 장치는 각각 빔을 생성하고 생성된 빔 중에서 특정 주파수의 빔을 방출하며, 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 출력한다. 제어부는 출력된 간섭신호로부터 생성된 빔의 파장을 검출하고 검출된 파장을 기초로 복수의 상기 레이저 장치를 제어한다. 광학 장치부는 피검체의 표면에 레이저 장치가 방출한 빔을 투사시켜 피검체의 간섭무늬를 생성한다. 복수의 셔터는 개폐되며 폐쇄된 경우에는 레이저 장치가 방출한 빔이 광학 장치부로 조사되는 것을 차단한다. 촬상부는 생성된 간섭무늬를 촬상한다. 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법에 의하면, 안정된 주파수를 방출하는 복수개의 다채널 주파수 스캐닝 레이저 장치를 이용하여 광을 방출함으로 높이가 큰 피검체의 형상을 정확하고 정밀하게 측정할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법은 기준면의 위치 이동을 요구하지 않으며, 이에 따라 기준면의 위치 이동으로 인한 시간 소요 및 오차 발생을 방지하여 피검체의 형상을 신속하고 정확하게 측정할 수 있다.
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 11/24 (2011.01) G01B 11/00 (2011.01) G01B 9/02 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020070091213 (2007.09.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0925783-0000 (2009.11.02)
공개번호/일자 10-2009-0025971 (2009.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20091111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.07)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 엄태봉 대한민국 대전 유성구
3 김종안 대한민국 대전 유성구
4 강주식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0652868-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.06.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.07.22 수리 (Accepted) 9-1-2008-0046382-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0086999-28
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.04.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0248089-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0248082-96
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0354335-08
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
빔을 생성하고 상기 생성된 빔 중에서 특정 주파수의 빔을 방출하며, 상기 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 출력하는 복수의 레이저 장치; 피검체의 표면에 상기 방출된 빔을 투사시켜 상기 피검체의 간섭무늬를 생성하는 광학 장치부; 상기 방출된 빔이 상기 광학 장치부로 조사되거나 차단되도록 하는 복수의 셔터; 상기 생성된 간섭무늬를 촬상하는 촬상부; 및 상기 출력된 간섭신호로부터 상기 생성된 빔의 파장을 검출하고, 상기 검출된 파장과 생성된 간섭무늬를 기초로 복수의 상기 레이저 장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 레이저 장치는 2개인 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 레이저 장치는, 상기 빔을 생성하는 반도체 레이저; 상기 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하여 출력하는 간섭신호 생성부; 상기 특정 주파수를 공진 주파수로 가지며, 상기 생성된 빔을 조사받고 상기 조사된 빔의 주파수와 상기 공진 주파수가 동일한 경우에는 상기 조사된 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백하는 외부반사체; 및 상기 외부 반사체가 상기 조사된 빔을 피드백한 경우에는 상기 생성된 빔을 외부로 방출하는 광전달부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제어부는 복수의 상기 레이저 장치를 교대로 가동하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 제어부는 상기 가동되는 레이저 장치가 4개의 특정 주파수의 빔을 방출하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 레이저 장치의 온도 또는 상기 레이저 장치로 인가되는 전류를 조절하여 상기 레이저 장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 복수의 셔터 중에서 어느 하나의 셔터를 개방하여 상기 방출된 빔을 상기 광학 장치부로 조사되게 하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
9 9
제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 특정 주파수의 빔 각각에 대한 상기 촬상된 간섭무늬를 획득하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 제어부는 상기 특정 주파수 및 상기 특정 주파수의 빔 각각에 대해 상기 획득된 간섭무늬를 기초로 상기 피검체의 형상 정보를 산출하는 것을 특징으로 하는 형상 측정장치
11 11
복수의 레이저 장치를 이용하여 형상을 측정하는 방법에 있어서, 상기 복수의 레이저 장치 중에서 어느 하나의 레이저 장치를 가동하는 제 1가동단계; 상기 가동된 레이저 장치로부터 복수의 특정 주파수의 빔을 각각 방출시키고, 상기 방출된 특정 주파수의 빔 각각을 피검체에 투사시켜 상기 특정 주파수 각각에 대한 상기 피검체의 간섭무늬를 획득하는 간섭무늬 획득단계; 및 상기 가동된 레이저 장치를 정지시키고 복수의 레이저 장치 중에서 다른 하나의 레이저 장치를 가동하는 제 2가동단계; 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
12 12
제 11항에 있어서, 상기 제 1가동단계는, 상기 복수의 레이저 장치 중에서 어느 하나의 레이저 장치에 전류를 인가하는 단계; 및 상기 전류가 인가된 레이저 장치로부터 방출되는 빔을 차단하는 셔터를 개방하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
13 13
제 11항에 있어서, 상기 간섭무늬 획득단계는, 상기 가동된 레이저 장치를 통해 특정 주파수의 빔을 방출하는 빔방출단계; 및 상기 방출된 빔을 피검체의 표면에 투사시켜 상기 피검체의 간섭무늬를 획득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
14 14
제 13항에 있어서, 상기 빔방출단계는, 상기 가동된 레이저 장치가 생성한 빔의 파장을 검출하는 단계; 상기 검출된 파장을 기초로 상기 레이저 장치로 인가되는 전류를 조절하는 단계; 상기 빔의 공명 주파수를 검출하는 단계; 및 상기 빔의 공명 주파수가 검출된 경우에는 상기 빔을 상기 특정 주파수의 빔으로 방출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법;
15 15
제 11항에 있어서, 상기 제 2가동단계는, 상기 가동된 레이저 장치로부터 방출되는 빔을 차단하는 셔터를 폐쇄하는 단계; 상기 가동된 레이저 장치로 인가되는 전류의 공급을 중단하는 단계; 상기 복수의 레이저 장치 중에서 다른 하나의 레이저 장치에 전류를 인가하는 단계; 및 상기 전류가 인가된 레이저 장치로부터 방출되는 빔을 차단하는 셔터를 개방하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
16 16
제 11항에 있어서, 상기 형상 측정방법은, 상기 특정 주파수 및 상기 특정 주파수의 빔으로부터 획득된 간섭무늬를 기초로 상기 피검체의 형상정보를 산출하는 단계:를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
17 17
제 11항에 있어서, 상기 레이저 장치는 상기 빔을 생성하는 반도체 레이저; 상기 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하여 출력하는 간섭신호 생성부; 상기 특정 주파수를 공진 주파수로 가지며, 상기 생성된 빔을 조사받고 상기 조사된 빔의 주파수와 상기 공진 주파수가 동일한 경우에는 상기 조사된 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백하는 외부반사체; 및 상기 외부 반사체가 상기 조사된 빔을 피드백한 경우에는 상기 생성된 빔을 외부로 방출하는 광전달부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
18 18
제 11항에 있어서, 상기 레이저 장치는 2개인 것을 특징으로 하는 형상 측정방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP23511928 JP 일본 FAMILY
2 US08279448 US 미국 FAMILY
3 US20100182614 US 미국 FAMILY
4 WO2009031770 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2011511928 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP2011511928 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2010182614 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8279448 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2009031770 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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