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화학증착소재 실시간 진단장치

  • 기술번호 : KST2015179708
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 화학증착소재 실시간 진단장치는 적외선 조사장치; 서로 마주보지 않도록 배치되는 입구와 출구 및 상기 적외선 조사장치에서 조사되는 적외선의 이동 경로상에 서로 마주보게 배치되는 제 1 및 제 2 윈도우를 가지는 진단장치 몸체; 상기 입구를 통해 유입되는 증착 가스를 가열하는 핫 일렉트론 발생기; 상기 진단장치 몸체에 회전 가능하게 배치되는 흡착유닛; 및 상기 적외선 조사장치에서 조사된 적외선을 수광하여 상기 증착 가스의 상태를 판단하는 적외선 감지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01)
출원번호/일자 1020130069770 (2013.06.18)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1482856-0000 (2015.01.08)
공개번호/일자 10-2014-0146883 (2014.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20150115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 대전광역시 유성구
2 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
3 이상준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0541895-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.08.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0072088-57
5 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0737520-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
적외선 조사장치;서로 마주보지 않도록 배치되는 입구와 출구 및 상기 적외선 조사장치에서 조사되는 적외선의 이동 경로상에 서로 마주보게 배치되는 제 1 및 제 2 윈도우를 가지는 진단장치 몸체;상기 입구를 통해 유입되는 증착 가스를 가열하는 핫 일렉트론 발생기;상기 진단장치 몸체에 회전 가능하게 배치되는 흡착유닛; 및상기 적외선 조사장치에서 조사된 적외선을 수광하여 상기 증착 가스의 상태를 판단하는 적외선 감지유닛;을 포함하는 화학증착소재 실시간 진단장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 진단장치 몸체의 외주면을 감싸도록 설치되는 히팅 자켓;을 더 포함하는 화학증착소재 실시간 진단장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 핫 일렉트론 발생기는,상기 입구와 흡착유닛 사이의 증착 가스 유로 및 상기 입구 내부 중 어느 한 곳에 설치되는 화학증착소재 실시간 진단장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 흡착유닛은,2개의 전극; 및상기 전극들 사이에 배치되는 매쉬 기판;을 포함하는 화학증착소재 실시간 진단장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 전극은 탄탈럼(Ta) 재질로 형성되고, 상기 매쉬 기판은 텅스텐(W) 재질로 형성되는 화학증착소재 실시간 진단장치
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 흡착유닛은,상기 매쉬 기판이 상기 제 1 및 제 2 윈도우를 마주보는 제 1 모드와, 상기 제 1 모드 위치에서 90도 회전하여 상기 매쉬 기판이 증착 가스와 면접촉 되지 않도록 배치되는 제 2 모드 사이를 회전하는 화학증착소재 실시간 진단장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 윈도우는 브롬화 칼륨(KBr) 재질로 형성되는 화학증착소재 실시간 진단장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국표준과학연구원 중소기업융복합기술개발 차세대 소자용 증착소재 양산 합성 장치 및 품질관리 측정시스템 개발