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두께 측정 장치 및 두께 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015179712
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 두께 측정 방법은 제1 파장(λ1)의 제1 레이저 빔을 투명 기판에 조사시키고, 상기 투명 기판을 투과한 제1 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 제2 파장(λ2)의 제2 레이저 빔을 상기 투명 기판을 투과키고, 투과한 제2 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 및 상기 투명 기판을 투과한 상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 이용한 리사주(Lissajous) 그래프에서 회전각을 추출하는 단계;를 포함한다. 상기 제1 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이와 상기 제2 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이는 π/2를 유지한다.
Int. CL G01B 11/06 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130078751 (2013.07.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1544968-0000 (2015.08.10)
공개번호/일자 10-2015-0005793 (2015.01.15) 문서열기
공고번호/일자 (20150819) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.05)
심사청구항수 25

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 김종안 대한민국 대전 유성구
3 강주식 대한민국 대전광역시 유성구
4 진종한 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0605571-68
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0029277-10
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0184886-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0184820-03
6 보정요구서
Request for Amendment		 2015.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0081369-67
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0472891-03
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 파장(λ1)의 제1 레이저 빔을 투명 기판에 조사시키고, 상기 투명 기판을 투과한 제1 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계;제2 파장(λ2)의 제2 레이저 빔을 상기 투명 기판에 조사시키고, 상기 투명 기판을투과한 제2 레이저 빔의 세기를 측정하는 단계; 및상기 투명 기판을 투과한 상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 이용한 리사주(Lissajous) 그래프에서 회전각을 추출하는 단계;를 포함하고,상기 제1 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이와 상기 제2 레이저 빔의 다중 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이는 π/2를 유지하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 투명 기판을 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 회전각에서 비선형 오차를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
4 4
제3 항에 있어서,투과한 상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔(Ix, Iy)은 다음과 같이 표현되고,Ax와 Ay는 DC 오프셋이고, Bx와 By는 AC 진폭이고, δ는 90도에서 벗어난 정도를 나타내는 위상차이고, φ는 상기 투명 기판의 두께에 비례하는 회전각을 나타내고,매개 변수(Ax, Bx, Ay, By, δ)는 상기 회전각이 π/4의 정수 배가 되는 조건에서 갱신되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
5 5
투명 기판의 제1 위치를 투과한 제1 파장의 제1 투과빔의 세기를 측정하는 단계;에어리 함수(Airy Function)로 주어지는 투명 기판을 투과하는 제1 파장의 상기 제1 투과 빔을, 피네스 계수(coefficient of finesse) 003c# 1 조건에서, 상기 에어리 함수를 테일러 시리즈 전개하여, 상기 투명 기판의 다중 내부 반사를 통하여 투과한 이웃한 레이(rays) 사이의 광 경로 길이에 의해서 발생하는 위상 차이에 대한 코사인 함수(Cosine Function)로 표시되는 단계;상기 코사인 함수가 사인 함수(Sine Function)가 되도록 제2 파장을 선택하는 단계;상기 투명 기판의 상기 제1 위치를 투과한 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 측정하는 단계;상기 제1 투과 빔과 상기 제2 투과 빔을 처리하여 리사주 그래프 상에서 회전각을 추출하는 단계; 및상기 회전각을 이용하여 상기 투명 기판의 두께를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
6 6
제5 항에 있어서,상기 투명 기판의 측정 위치를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 두께 측정 방법
7 7
제5 항에 있어서,상기 회전각에서 비선형 오차를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
8 8
투명 기판의 제1 위치를 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔의 제1 측정 신호를 준비하는 단계;상기 투명 기판을 투과하는 제1 파장의 상기 제1 투과 빔은 에어리 함수(Airy Function)로 주어지고, 피네스 계수(coefficient of finesse) 003c# 1 조건에서, 상기 에어리 함수를 테일러 시리즈 전개하여, 상기 제1 투과 빔을 상기 투명 기판의 다중 내부 반사를 통하여 투과한 이웃한 레이(rays) 사이의 광 경로 길이에 의해서 발생하는 위상 차이에 대한 코사인 함수(Cosine Function)로 표시하는 단계;상기 코사인 함수가 사인 함수(Sine Function)가 되도록 제2 파장을 선택하는 단계;상기 투명 기판의 제1 위치를 투과한 제2 파장의 제2 투과 빔의 제2 측정 신호를 준비하는 단계;상기 제1 측정 신호과 상기 제2 측정 신호를 처리하여 리사주 그래프 상에서 회전각을 추출하는 단계; 및상기 회전각을 이용하여 상기 투명 기판의 두께를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
9 9
투명 기판의 제1 위치를 투과한 제1 파장(λ1)의 제1 투과 빔의 제1 측정 신호를 준비하는 단계;상기 투명 기판의 제1 위치를 투과한 제2 파장(λ2)의 제2 투과 빔의 제2 측정 신호를 준비하는 단계;상기 제1 측정 신호와 상기 제2 측정 신호를 처리하여 리사주 그래프 상에서 회전각을 추출하는 단계; 및상기 회전각을 이용하여 상기 투명 기판의 두께를 산출하는 단계를 포함하고, 상기 제1 파장과 제2 파장은 다음의 조건을 충족하고, 여기서, n은 투명 기판의 굴절률이고, d는 투명 기판의 평균 두께이고, θ2는 투명 기판의 굴절각인 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
10 10
제1 파장의 레이저 빔을 출력하는 제1 레이저;제2 파장의 레이저 빔을 출력하는 제2 레이저;상기 제1 레이저의 출력 및 상기 제2 레이저의 출력을 결합하여 투명 기판의 제1 위치에 제공하는 광 결합기;상기 제1 파장의 제1 투과 빔과 제2 파장의 제2 투과 빔을 서로 분리하는 이색성 빔 분리기; 상기 이색성 빔 분리기를 통하여 분리된 제1 파장의 상기 제1 투과 빔을 측정하는 제1 광 검출기; 상기 이색성 빔 분리기를 통하여 분리된 제2 파장의 상기 제2 투과 빔을 측정하는 제2 광 검출기; 및제1 파장의 상기 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 상기 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리사주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
11 11
제10 항에 있어서,상기 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 코사인 함수를 가지고, 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 사인 함수를 가지는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
12 12
제10 항에 있어서,상기 광 결합기는:제1 파장의 레이저 빔을 투과시키고, 제2 파장의 레이저 빔을 반사시키는 빔 스플릿터; 및상기 파장의 레이저 빔을 반사시켜 상기 빔 스플릿터에 제공하는 반사 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
13 13
제10 항에 있어서,상기 투명 기판를 이동시키는 이송부; 및상기 이송부를 구동하는 이송 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
14 14
제1 파장과 제1 주기를 가지는 제1 펄스 빔을 출력하는 제1 레이저;제1 펄스 빔과 다른 시각에 발진하고 제2 파장과 상기 제1 주기를 가지는 제2 펄스 빔을 출력하는 제2 레이저;상기 제1 레이저의 출력 또는 상기 제2 레이저의 출력을 투명 기판의 제1 위치에 제공하는 광 결합기;상기 투명기판의 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔과 제2 파장의 제2 투과 빔을 순차적으로 측정하는 광 검출기; 및제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리사주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
15 15
제14 항에 있어서,상기 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 코사인 함수를 가지고, 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 사인 함수를 가지는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
16 16
제14 항에 있어서,상기 광 결합기는:제1 파장의 제1 펄스 빔을 투과시키고, 제2 파장의 제2 펄스 빔을 반사시키는 빔 스플릿터; 및상기 제2 파장의 제2 펄스 빔을 반사시켜 상기 빔 스플릿터에 제공하는 반사 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
17 17
제14 항에 있어서,상기 투명 기판를 이동시키는 이송부; 및상기 이송부를 구동하는 이송 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
18 18
제1 파장의 제1 레이저 빔을 출력하는 제1 레이저;제2 파장의 제2 레이저 빔을 출력하는 제2 레이저;상기 제1 레이저의 출력 및 상기 제2 레이저의 출력을 제공받아 주기적으로 교번하여 제1 레이저 빔 또는 상기 제2 레이저 빔을 투명 기판의 제1 위치에 제공하는 광 스위치;상기 투명 기판을 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔 또는 제2 파장의 제2 투과 빔을 측정하는 광 검출기; 및제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리사주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
19 19
제18 항에 있어서,상기 제1 파장의 제1 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 코사인 함수를 가지고, 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기는 위상 차이에 따라 사인 함수를 가지는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
20 20
제18 항에 있어서,상기 투명 기판를 이동시키는 이송부; 및상기 이송부를 구동하는 이송 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
21 21
제1 파장의 제1 레이저 빔을 출력하는 제1 레이저;제2 파장의 제2 레이저 빔을 출력하는 제2 레이저;상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 입력을 제공받아 하나의 출력으로 다중화하여 투명 기판의 제1 위치에 제공하는 파장 분할 다중화기(wavelength-division multiplexer);상기 투명 기판을 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔 또는 제2 파장의 제2 투과 빔을 측정하는 광 검출기; 및제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리사주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
22 22
제21 항에 있어서,상기 제1 투과 빔과 상기 제2 투과 빔을 하나의 입력 포트를 통하여 제공받고, 제1 파장의 제1 투과 빔은 제1 출력 포트로 출력하고, 제2 파장의 제2 투과 빔은 제2 출력 포트로 출력하는 파장 분할 역다중화기(wavelength-division demultiplexer)를 더 포함하고,상기 광 검출기는 제1 광 검출기 및 제2 광 검출기를 포함하고,상기 제1 광 검출기는 상기 파장 분할 역다중화기의 상기 제1 출력 포트에 연결되고, 상기 제2 광 검출기는 상기 파장 분할 역다중화기의 상기 제2 출력 포트에 연결되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
23 23
제21 항에 있어서,상기 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 빔은 주기적인 펄스 형태이고, 상기 제1 레이저 빔은 상기 제2 레이저 빔은 시간적으로 서로 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
24 24
제1 파장의 제1 레이저 빔을 출력하는 제1 레이저;제2 파장의 제2 레이저 빔을 출력하는 제2 레이저;상기 제1 레이저 빔과 상기 제2 레이저 빔을 입력을 제공받아 하나의 경로로 출력하는 광 결합기;상기 광 결합기와 투명 기판 사이에 배치되고 패턴 빔을 생성하는 패턴 빔 발생기;상기 투명 기판을 투과한 제1 파장의 제1 투과 빔 또는 제2 파장의 제2 투과 빔을 측정하는 광 검출기 어레이; 및제1 파장의 제1 투과 빔의 세기와 상기 제2 파장의 제2 투과 빔의 세기를 이용한 리사주 그래프에서 회전각, 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 광 경로의 차이(the difference in optical path length), 또는 상기 제1 위치에서 상기 투명 기판의 내부 반사에 의한 이웃한 레이들(rays) 사이의 위상 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
25 25
제24 항에 있어서,상기 패턴 빔 발생기는:입력되는 빔을 회절시켜 일정한 방향으로 정렬된 복수의 빔을 형성하는 회절 격자 소자; 및상기 회절 격자 소자를 투과한 광을 평행광으로 변환하는 평행광 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN104279969 CN 중국 FAMILY
2 US09921051 US 미국 FAMILY
3 US20150012246 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN104279969 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN104279969 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 US2015012246 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9921051 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.