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광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경 및 초점검출 방법

  • 기술번호 : KST2015179767
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명이 해결하려는 과제는 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하고 3차원 형상을 복원하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경을 제공하는 것이다. 본 발명 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경은, 복수의 광검출기로 구성된 공초점 현미경과; 상기 공초점 현미경을 통해 검출된 복수의 광을 이용하여 초점위치를 검출하는 처리부로 구성된 것을 특징으로 한다. 상기 처리부에서 초점검출 방법은 복수의 광검출기의 광축위치를 설정하는 단계와; 상기 광축위치에서 복수의 광검출기를 이용하여 광량을 검출하는 단계와; 상기 광검출기의 설정된 광축위치와 광축위치에서 검출된 광량을 이용하여 측정시편의 초점위치를 검출하는 단계로 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하므로 측정시편의 초점위치를 검출하는 시간이 감소하게 되고, 초점을 검출하는 시간이 감소함으로서 3차원 형상을 복원하는 시간이 감소하게 된다. 아울러, 광축주사 과정을 제거하여 광축주사 과정으로 인하여 공초점 현미경에 미치는 물리적 영향을 최소화하여 정확한 측정을 할 수 있다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G02B 27/16 (2006.01)
CPC G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01) G02B 21/008(2013.01)
출원번호/일자 1020100020597 (2010.03.09)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1091111-0000 (2011.12.01)
공개번호/일자 10-2011-0101537 (2011.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20111209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
3 강주식 대한민국 대전 유성구
4 진종한 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0147509-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0424979-14
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0763456-18
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0763458-09
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0683217-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 광검출기와;상기 복수의 광검출기를 통해 검출된 복수의 광량을 이용하여 초점위치를 검출하는 처리부를 포함하고,상기 처리부는, 초점위치에서 떨어진 광축 위치와 상기 광축 위치에서 검출한 광량의 관계를 수학적으로 모델링한 아래의 수식에 의해 광축 주사과정 없이 초점위치(d)를 검출하는 것을 특징으로 하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경
2 2
제 1항에 있어서,상기 공초점 현미경의 광검출기는 포토다이오드로 구성된 것을 특징으로 하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경
3 3
제 1항에 있어서,상기 공초점 현미경의 광검출기는 CCD로 구성된 것을 특징으로 하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경
4 4
광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경의 처리부에서 초점검출 방법은,복수의 광검출기의 광축위치를 설정하는 단계와;상기 광축위치에서 복수의 광검출기를 이용하여 광량을 검출하는 단계와;상기 광검출기의 설정된 광축위치와 광축위치에서 검출된 광량을 이용하여 측정시편의 초점위치를 검출하는 단계를 포함하되,상기 초점위치를 검출하는 단계는, 초점위치에서 떨어진 광축 위치와 상기 광축 위치에서 검출한 광량의 관계를 수학적으로 모델링한 아래의 수식에 의해 광축 주사과정 없이 초점위치(d)를 검출하는 것을 특징으로 하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경의 초점검출 방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 처리부는 측정시편의 초점위치를 검출하는 검출단계에서 검출된 초점위치를 이용하여 측정시편의 3차원 형상을 복원하는 단계를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경의 초점검출 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 나노 원천기술 개발사업 다채널 주파수 스캐닝 레이저를 이용한 광간섭식 고속 나노형상 측정기술 개발