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기판;상기 기판 상에 위치하고, 측정 대상 나노 물질에 직류 전류를 인가하는 직류 전류 인가 전극;상기 기판 상에 위치하고, 상기 측정 대상 나노 물질에 온도 구배를 제공하도록 가열하는 히터;상기 기판 상에 위치하고, 상기 측정 대상 나노 물질에 인가된 상기 직류 전류에 의하여 형성되는 전압을 측정하고, 상기 측정 대상 나노 물질의 상기 온도 구배를 측정하는 측정 전극; 및상기 직류 전류 인가 전극, 상기 히터, 및 상기 측정 전극과 각각 전기적으로 연결된 마이크로 단자;를 포함하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 전류 인가 전극은 상기 히터와 상기 측정 전극 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정 전극은 상기 전류 인가 전극과 상기 히터 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정 전극은 양 단부에 분지들을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 직류 전류 인가 전극과 상기 측정 전극은 제1 방향으로 연장되고, 상기 히터는 상기 제1 방향과는 수직인 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 히터는 하나로 구성되거나 또는 서로 대향하는 복수 개로 구성된 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 직류 전류 인가 전극, 상기 히터, 및 상기 측정 전극은 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 직류 전류 인가 전극, 상기 히터, 및 상기 측정 전극 중 적어도 어느 하나는 백금 또는 백금 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판은,상기 직류 전류 인가 전극, 상기 히터, 및 상기 측정 전극이 위치하는 제1 영역; 및상기 마이크로 단자가 위치하는 제2 영역;을 포함하고,상기 제1 영역의 열용량이 상기 제2 영역의 열용량에 비하여 작게되도록, 상기 제1 영역은 상기 제2 영역에 비하여 작은 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 제1 영역은 상기 제2 영역에 의하여 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제1 영역은 절연층을 포함하고,상기 제2 영역은 상기 절연층과 상기 절연층의 하측에 위치한 반도체층을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 단자는,상기 나노 구조체에 전력을 전달하여 열을 발생시키는 히터용 마이크로 단자; 및상기 나노 구조체와 신호를 송수신하는 신호 송수신용 마이크로 단자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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기판;상기 기판 상에 위치하고, 측정 대상 나노 물질의 일부 영역을 가열하여 상기 측정 대상 나노 물질의 열전 특성을 측정하는 나노 구조체; 상기 기판 상에 위치하고 상기 나노 구조체와 전기적으로 연결된 마이크로 단자;를 포함하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치
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측정 대상 나노 물질에 직류 전류 인가 전극을 통하여 직류 전류를 인가하는 단계;상기 측정 대상 나노 물질에 인가된 상기 직류 전류에 의하여 형성되는 전압을 측정 전극을 통하여 측정하는 단계;상기 측정 대상 나노 물질을 히터를 이용하여 가열하여 상기 측정 대상 나노 물질에 온도 구배를 형성하는 단계; 및상기 측정 대상 나노 물질에 형성된 온도 구배에 의하여 발생하는 열기전력을 상기 측정 전극을 통하여 측정하는 단계;를 포함하는 나노 물질용 열전 특성 측정 방법
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제1 영역과 제2 영역을 포함하고, 지지층과 절연층이 순차적으로 형성된 기판을 제공하는 단계;상기 기판의 제 2 영역 상에 마이크로 단자를 형성하는 단계;상기 기판의 상기 제1 영역 상에 직류 전류 인가 전극, 측정 전극, 및 히터를 형성하는 단계; 및상기 기판의 제1 영역의 지지층을 제거하여 개구부를 형성하는 단계;를 포함하는 나노 물질용 열전 특성 측정 장치의 제조 방법
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