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공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛;일단이 상기 입자 집속유닛과 연결되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버;일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버;일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치가 설치되는 제 3 챔버; 및상기 제 1 및 제 2 챔버와 배기유로로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 챔버 내부의 기체를 외부로 배출하는 하나의 펌프;를 포함하며,상기 배기유로는,일단은 상기 제 1 챔버와 연결되고 타단은 펌프와 연결되는 꺽어진 곡관으로 형성되는 제 1 유로; 및일단은 상기 제 2 챔버와 연결되고 타단은 펌프와 연결되는 직관으로 형성되는 제 2 유로;를 포함하고,상기 제 1 유로는 상기 제 2 유로의 측벽에 연결되며,상기 펌프는 상기 제 2 챔버 하측에 배치되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 챔버에는 제 1 및 제 2 압력 게이지가 설치되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 제 1 유로는,일단이 제 1 챔버와 연결되는 제 1 파이프; 일단이 제 2 유로와 연결되는 제 2 파이프; 및상기 제 1 및 제 2 파이프 사이에 개재되는 밸브부재;를 포함하며,상기 제 1 및 제 2 파이프의 타단이 상기 밸브부재와 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 파이프의 연결을 통해 제 1 유로가 형성되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유로는 꺾어진 곡관으로 형성되고, 상기 제 1 유로는 직관으로 형성되어, 상기 제 2 유로는 상기 제 1 유로의 측벽에 연결되며,상기 펌프는 상기 제 1 챔버 하측에 배치되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 유로는 꺾어진 곡관으로 형성되어 각각의 끝단이 서로 연결되고,직관인 제 3 유로가 일단은 상기 제 1 및 제 2 유로와 연결되고, 그 타단이 상기 펌프와 연결되어, 상기 펌프는 상기 제 1 및 제 2 챔버 중간에 배치되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 유로는 유로를 구성하는 파이프들이 서로 동일한 직경을 가지는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 유로를 구성하는 파이프들의 직경이 제 2 유로를 구성하는 파이프들의 직경보다 더 크게 형성되는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛;일단이 상기 입자 집속유닛과 연결되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버;일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버;일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치가 설치되는 제 3 챔버;상기 제 1 및 제 2 챔버를 연결하는 배기유로; 및상기 제 2 챔버에 직접 연결되어, 상기 제 1 챔버의 기체는 상기 배기유로를 통해 간접적으로 배출하고, 상기 제 2 챔버의 공기는 직접 배출하는 적어도 하나의 펌프;를 포함하는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛;일단이 상기 입자 집속유닛과 연결되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버;일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버;일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치가 설치되는 제 3 챔버;상기 제 2 챔버에 직접 연결되어, 상기 제 2 챔버의 공기를 직접 배출하는 터보 펌프로 마련되는 적어도 하나의 펌프; 및일단은 상기 제 1 챔버와 연결되고, 타단은 상기 펌프와 연결되어 상기 제 1 챔버의 공기를 외부로 배출하는 배기유로;를 포함하는 최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템
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