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일정한 주파수 대역에서 일정한 종모드 주파수 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원;상기 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 상기 종모드 주파수 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity);상기 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계;상기 간섭계로부터 상기 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 상기 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기; 및상기 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 상기 간섭 신호의 스펙트럼 주기를 추출하고, 상기 스펙트럼 주기를 이용하여 상기 간섭계가 제공한 상기 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 레이저 광원은: 파이버 링 공진기;상기 파이버 링 공진기에 장착되어 펌프광을 제공하는 파장 분할 다중화 결합기(wavelength division multiplexing coupler; WDM coupler);상기 펌프광을 출력하고 상기 펌프광을 상기 파장 분할 다중화 결합기를 통하여 상기 파이버 링 공진기에 제공하는 펌프 광원;상기 파이버 링 공진기에 장착되고 상기 펌프 광을 통하여 펌핑되는 어븀 첨가 파이버; 상기 파이버 링 공진기에 장착되고 모드 잠금을 유도하는 한 쌍의 편광 조절기(polarization controller);상기 파이버 링 공진기에 장착되고 상기 파이버 링 공진기 내부에 진행하는 광을 한 방향으로 진행하도록 분리기(isolator); 및상기 파이버 링 공진기에서 일부의 출력을 추출하는 광 파이버 결합기를 포함하고,상기 레이저 광원은 모드 잠김을 통하여 펄스열을 출력하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 광섬유 페룰 공진기는:소정의 길이의 파이버;상기 파이버를 감싸고 상기 파이버의 양단과 정렬되는 페룰;상기 페룰의 양단에 코팅된 반사 코팅막; 상기 페룰의 일부를 감싸는 제1 커넥터; 및상기 페룰의 나머지 부위를 감싸는 제2 커넥터를 포함하고,상기 광섬유 페룰 공진기의 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)는 상기 스펙트럼 분석기의 주파수 분해능(Δfs) 이상이고,상기 광섬유 페룰 공진기의 주파수 투과폭(transmission band width; TBW)은 상기 레이저 광원의 하나의 종모드 만을 투과시키도록 상기 주파수 모드 간격(fr) 이하이고, 하나의 종모드의 선폭 이상인 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 간섭계는 기준면에서 반사되는 제1 반사광과 측정면에서 반사되는 제2 반사광을 이용하여 간섭광을 형성하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 간섭계는 2개의 입력 포트와 2개의 출력 포트를 포함하는 방향성 결합기를 포함하고,제1 입력포트는 상기 광섬유 페룰 공진기로부터 제공된 광을 제공받아 광을 분배하여 2 개의 출력 포트에 제공하고,제1 출력 포트는 기준면에 반사되는 제1 반사광을 제공받고,제2 출력 포트는 측정면에서 반사되는 제2 반사광을 제공받고,제2 입력포트는 상기 제1 출력 포트에서 제공되는 상기 제1 반사광 및 상기 제2 출력 포트에서 제공되는 상기 제2 반사광을 결합한 간섭광을 출력하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 간섭계는:상기 광섬유 페룰 공진기에서 출력되는 광을 평행광으로 변환하는 평행광 렌즈; 및상기 평행광 렌즈를 통과한 광을 투과시켜 측정 대상에 제공하고, 상기 측정 대상의 기준면에서 반사된 제1 반사광과 상기 측정 대상의 측정면에서 반사된 제2 반사광을 반사시켜 스펙트럼 분석기에 제공하는 빔 스플릿터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제6 항에 있어서,상기 간섭계는 슬릿을 더 포함하고,상기 슬릿은 상기 빔 스플릿터로부터 상기 제1 반사광 및 제2 반사광을 제공받아 띠 형태의 빔을 상기 스펙트럼 분석기에 제공하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제7 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기는 상기 띠 형태의 빔을 제공받아 상기 빔의 위치마다 주파수에 따라 공간적으로 분해하여, 상기 빔의 위치 및 주파수에 따른 간섭광의 세기를 2차원적으로 측정하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기는 삼각 기둥 형상의 제1 프리즘 및 역삼각 기둥 형상의 제2 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제1 항에 있어서,상기 신호 처리부는 주파수에 따른 상기 간섭 신호를 실시간으로 푸리에 변환하여 적어도 하나의 스펙트럼 주기를 추출하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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넓은 주파수 대역을 가진 광원;소정의 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range) 마다 소정의 주파수 투과폭(transmission band width; TBW)으로 상기 광원으로부터 제공받은 광을 투과시키는 광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity);상기 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 간섭계;상기 간섭계로부터 상기 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 상기 간섭광을 분해하여 측정하는 스펙트럼 분석기; 및상기 스펙트럼 분석기의 간섭 신호를 이용하여 주파수에 따른 상기 간섭 신호의 스펙트럼 주기를 추출하고, 상기 스펙트럼 주기를 이용하여 상기 간섭계가 제공한 상기 광 경로차를 추출하는 신호 처리부를 포함하고,상기 광섬유 페룰 공진기의 상기 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)는 상기 스펙트럼 분석기의 주파수 분해능(Δfs) 이상인 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제11 항에 있어서,상기 광섬유 페룰 공진기는:소정의 길이의 파이버;상기 파이버를 감싸고 상기 파이버의 양단과 정렬되는 페룰;상기 페룰의 양단에 코팅된 반사 코팅막; 상기 페룰의 일부를 감싸는 제1 커넥터; 및상기 페룰의 나머지 부위를 감싸는 제2 커넥터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제11 항에 있어서,상기 간섭계는 2개의 입력 포트와 2개의 출력 포트를 포함하는 방향성 결합기를 포함하고,제1 입력포트는 상기 광섬유 페룰 공진기로부터 제공된 광을 제공받아 광을 분배하여 2 개의 출력 포트에 제공하고,제1 출력 포트는 기준면에 반사되는 제1 반사광을 제공받고,제2 출력 포트는 측정면에서 반사되는 제2 반사광을 제공받고,제2 입력포트는 상기 제1 출력 포트에서 제공되는 상기 제1 반사광 및 상기 제2 출력 포트에서 제공되는 상기 제2 반사광을 출력하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제11 항에 있어서,상기 간섭계는:상기 광섬유 페룰 공진기에서 출력되는 광을 평행광으로 변환하는 평행광 렌즈; 및상기 평행광 렌즈를 통과한 광을 투과시켜 측정 대상에 제공하고, 상기 측정 대상의 기준면에서 반사된 제1 반사광과 상기 측정 대상의 측정면에서 반사된 제2 반사광을 반사시켜 상기 스펙트럼 분석기에 제공하는 빔 스플릿터를 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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제11 항에 있어서,상기 신호 처리부는 주파수에 따른 상기 간섭 신호를 실시간으로 푸리에 변환하여 적어도 하나의 상기 스펙트럼 주기를 추출하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 장치
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일정한 주파수 대역에서 일정한 주파수 모드 간격을 가지고 발진하는 레이저 광원을 제공하는 단계;광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity)를 이용하여 상기 레이저 광원으로부터 광을 제공받아 상기 주파수 모드 간격보다 큰 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range)를 가지고 선택된 종모드들을 투과시키는 필터링 단계;상기 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 단계;상기 간섭광을 이용하여 주파수에 따라 상기 간섭광을 분해하여 측정하는 단계; 및주파수에 따른 상기 간섭광의 세기의 스펙트럼 주기를 추출하고, 상기 스펙트럼 주기를 이용하여 상기 간섭광이 제공한 상기 광 경로차를 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 방법
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넓은 주파수 대역을 가진 광원을 제공하는 단계;광섬유 페룰 공진기(fiber-ferrule optical cavity)를 이용하여 상기 광원으로부터 광을 제공받아 소정의 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range) 마다 소정의 주파수 투과폭(transmission band width; TBW)으로 투과시키어 필터링하는 단계;상기 광섬유 페룰 공진기로부터 광을 제공받아 서로 다른 광 경로에 의한 광 경로차를 가지는 간섭광을 제공하는 단계;상기 간섭광을 제공받아 주파수에 따라 스펙트럼 분석기를 이용하여 상기 간섭광을 분해하여 측정하는 단계; 및주파수에 따른 상기 간섭광의 세기의 스펙트럼 주기를 추출하고, 상기 스펙트럼 주기를 이용하여 상기 광 경로차를 추출하는 단계를 포함하고,상기 광섬유 페룰 공진기의 자유 스펙트럴 레인지(free spectral range;FSR)는 상기 간섭광을 분해하는 상기 스펙트럼 분석기의 주파수 분해능(Δfs) 이상인 것을 특징으로 하는 스펙트럼 영역 간섭 방법
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