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초고주파 플라즈마 진단 장치

  • 기술번호 : KST2015179955
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고주파 플라즈마 진단 장치를 제공한다. 이 초고주파 플라즈마 진단 장치는 동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되어 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 탐침, 동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되고 방사 탐침에서 방사되어 플라즈마를 투과한 초고주파를 검출하는 검출 탐침, 방사 탐침 및 검출 탐침을 감싸고 방사 탐침의 축 방향으로 개방된 개구부를 포함하고 망사 구조를 가지는 전자기 차폐부, 및 방사 탐침에 가변 초고주파 신호를 제공하고 상기 검출 탐침으로부터 상기 플라즈마를 투과한 가변 초고주파 신호를 수신하여 분석하는 스펙트럼 분석부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) G01N 22/00 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) H05H 1/00 (2006.01)
CPC H05H 1/0006(2013.01) H05H 1/0006(2013.01) H05H 1/0006(2013.01)
출원번호/일자 1020130051029 (2013.05.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1456542-0000 (2014.10.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141031) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.07)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대한민국 대전 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
3 신용현 대한민국 대전 유성구
4 성대진 대한민국 충남 공주시
5 김대웅 대한민국 경북 포항시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0400580-72
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0048608-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0448003-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0795951-05
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0795957-78
8 등록결정서
Decision to grant
2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0654966-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되어 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 탐침;동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되고 상기 방사 탐침에서 방사되어 상기 플라즈마를 투과한 초고주파를 검출하는 검출 탐침;플라즈마는 통과하고 초고주파는 차단하고 도전체 재질이고, 상기 방사 탐침 및 상기 검출 탐침을 감싸고 상기 방사 탐침의 축 방향으로 개방된 개구부를 포함하고 망사 구조를 가지는 전자기 차폐부; 및상기 방사 탐침에 가변 초고주파 신호를 제공하고 상기 검출 탐침으로부터 상기 플라즈마를 투과한 상기 가변 초고주파 신호를 수신하여 분석하는 스펙트럼 분석부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 전자기 차폐부는 망사 구조의 이웃한 도선의 간격은 1mm 내지 2mm 인 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발